公开(公告)号：CN112005355B

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN201980026700.9

申请日：2019-04-16

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  安东尼奥·泽维尔 ,  弗兰克·洛伦·帕斯夸里 ,  瑞安·布拉奎尔 ,  詹尼弗·利·佩特拉利亚 ,  米纳克斯·马穆努鲁

IPC: H01L21/67

Abstract: 一种气体输送系统包括2通阀，其包括设置于第一端口和第二端口之间的第一阀。4通阀包括连接至第一端口和第二端口的第一节点。旁路路径设置于第三端口和第四端口之间。第二节点沿着所述旁路路径设置。第二阀设置于第一节点和第二节点之间。歧管块限定气体流通道，所述气体流通道：被配置以将所述4通阀的所述第一端口连接至第一入口，被配置以将所述4通阀的所述第二端口连接至所述2通阀的所述第一端口，将所述4通阀的所述第三端口连接至第二入口，将所述2通阀的所述第二端口连接至第一出口，以及将所述4通阀的所述第四端口连接至第二出口。

公开(公告)号：CN112005355A

公开(公告)日：2020-11-27

申请号：CN201980026700.9

申请日：2019-04-16

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  安东尼奥·泽维尔 ,  弗兰克·洛伦·帕斯夸里 ,  瑞安·布拉奎尔 ,  詹尼弗·利·佩特拉利亚 ,  米纳克斯·马穆努鲁

IPC: H01L21/67

Abstract: 一种气体输送系统包括2通阀，其包括设置于第一端口和第二端口之间的第一阀。4通阀包括连接至第一端口和第二端口的第一节点。旁路路径设置于第三端口和第四端口之间。第二节点沿着所述旁路路径设置。第二阀设置于第一节点和第二节点之间。歧管块限定气体流通道，所述气体流通道：被配置以将所述4通阀的所述第一端口连接至第一入口，被配置以将所述4通阀的所述第二端口连接至所述2通阀的所述第一端口，将所述4通阀的所述第三端口连接至第二入口，将所述2通阀的所述第二端口连接至第一出口，以及将所述4通阀的所述第四端口连接至第二出口。

公开(公告)号：CN118648097A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202380019410.8

申请日：2023-01-24

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 斯蒂芬·托平 ,  帕特里克·G·布莱琳 ,  谢尔盖·格奥尔吉耶维奇·别洛斯托茨基 ,  拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  蒂莫西·斯科特·托马斯 ,  穆罕默德·瓦希迪 ,  行则崎山 ,  大卫·弗伦奇 ,  米纳克斯·马穆努鲁 ,  阿施施·索拉卜 ,  普拉莫德·苏布拉莫尼姆 ,  诺亚·埃利奥特·贝克

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 提供静电卡盘(ESC)装置和方法。ESC可具有一或更多个卡盘电极以及围绕卡盘电极的阻断电极。阻断电极可减少使用ESC执行的半导体处理操作中的不均匀性。在某些实现方案中，阻断电极位于卡盘电极下方。