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公开(公告)号：CN106757308B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201510819048.X
申请日：2015-11-23
申请人： 有研半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种单晶炉取棒辅助装置，包括外环型圈、内环型圈及单晶吊篮，其中外环型圈和内环型圈分别由两个半圆环构成，外环型圈与内环型圈之间通过数个联接杆联接；构成外环型圈的两个半圆环之间通过螺栓连接；外环型圈的下端沿圆周方向设有凹槽；内环型圈的上端内侧沿圆周方向设有开槽；单晶吊篮由多个单晶套环和多根吊装带组成，多个单晶套环通过多根吊装带相互连接，纵向排列；位于最上方的单晶套环设置在所述内环型圈的开槽上，位于最下方的单晶套环为可伸缩圈。通过装置取单晶棒，单晶棒直接落入装置内可以避免单晶落入炉对石墨埚或CFC埚等部件的损伤，同时可以减少操作者取棒的劳动强度，防止取棒过程可能带来的人员伤害和产品损伤。
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公开(公告)号：CN106480497A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510530605.6
申请日：2015-08-26
申请人： 有研半导体材料有限公司
IPC分类号： C30B15/14
摘要： 本发明公开了一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法，使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。将主加热器和电极的接触面均加工成直壁状，其中主加热器的接触面的一侧上部加工出斜面结构，电极内表面中相应侧面的上部也加工出斜面结构，二者组装后，利用主加热器自身重力，主加热器的外表面与电极内表面严密贴合。提高直拉单晶生产中主加热器的安装效率和结构稳定性。本发明的方法中主加热器与电极连接、拆卸简便高效，发热器件结构更加稳定，不易打火。
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公开(公告)号：CN106917136A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201510992289.4
申请日：2015-12-24
申请人： 有研半导体材料有限公司
IPC分类号： C30B15/00
CPC分类号： C30B15/00
摘要： 本发明公开了一种直拉单晶炉热场保温结构，包括保温桶、软毡及固化碳毡，所述保温桶置于最内侧，其上、下两端均具有向外延伸的凸缘，所述软毡位于该两凸缘之间，包裹于保温桶外侧，固化碳毡置于软毡的外侧。采用本发明的热场保温结构，可以结合保温桶、软毡和固化碳毡的优点，提高整个热场的保温性能，降低电耗，同时避免了软毡易腐蚀、维护困难等缺点，提高了整个热场的稳定性。
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公开(公告)号：CN106757308A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510819048.X
申请日：2015-11-23
申请人： 有研半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种单晶炉取棒辅助装置，包括外环型圈、内环型圈及单晶吊篮，其中外环型圈和内环型圈分别由两个半圆环构成，外环型圈与内环型圈之间通过数个联接杆联接；构成外环型圈的两个半圆环之间通过螺栓连接；外环型圈的下端沿圆周方向设有凹槽；内环型圈的上端内侧沿圆周方向设有开槽；单晶吊篮由多个单晶套环和多根吊装带组成，多个单晶套环通过多根吊装带相互连接，纵向排列；位于最上方的单晶套环设置在所述内环型圈的开槽上，位于最下方的单晶套环为可伸缩圈。通过装置取单晶棒，单晶棒直接落入装置内可以避免单晶落入炉对石墨埚或CFC埚等部件的损伤，同时可以减少操作者取棒的劳动强度，防止取棒过程可能带来的人员伤害和产品损伤。
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公开(公告)号：CN106480497B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201510530605.6
申请日：2015-08-26
申请人： 有研半导体材料有限公司
IPC分类号： C30B15/14
摘要： 本发明公开了一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法，使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。将主加热器和电极的接触面均加工成直壁状，其中主加热器的接触面的一侧上部加工出斜面结构，电极内表面中相应侧面的上部也加工出斜面结构，二者组装后，利用主加热器自身重力，主加热器的外表面与电极内表面严密贴合。提高直拉单晶生产中主加热器的安装效率和结构稳定性。本发明的方法中主加热器与电极连接、拆卸简便高效，发热器件结构更加稳定，不易打火。
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公开(公告)号：CN106480496A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510530508.7
申请日：2015-08-26
申请人： 有研半导体材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于实现直拉单晶收尾自动化的装置，包括收尾信号窗口、及高像素CCD相机，该收尾信号窗口设置在单晶炉下炉室侧面，该CCD相机可移动的设置在与收尾信号窗口相对应的位置上，该CCD相机的信号输出端连接工控机和PLC。采用本发明的装置，可实现硅单晶收尾全过程可视化及自动化；大幅提高单晶收尾过程的稳定性和成功率，减少因为收尾过程人工操作不当造成的经济损失；大大提高CZ硅单晶的生产效率，节省人力成本。
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