公开(公告)号：CN1831645A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200510132959.1

申请日：2005-12-29

Applicant: 显示器生产服务株式会社

Inventor： 李永哲 ,  朴庸硕 ,  许经宪 ,  周莲

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种精细图案的制作装置。它包括带有一定处理空间的箱体；设置于所述箱体内部，用于支撑涂覆有感光有机膜的衬底的支撑台；与所述支撑台相隔一段距离，用于在衬底的有机膜上印刻预处理图案，以区分蚀刻及非蚀刻区域的模板；用于驱动所述支撑台，使所述支撑台与模板相接触的驱动装置。

公开(公告)号：CN100533270C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200510132959.1

申请日：2005-12-29

Applicant: 显示器生产服务株式会社

Inventor： 李永哲 ,  朴庸硕 ,  许经宪 ,  周莲

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种精细图案的制作装置。它包括带有一定处理空间的箱体；设置于所述箱体内部，用于支撑涂覆有感光有机膜的衬底的支撑台；与所述支撑台相隔一段距离，用于在衬底的有机膜上印刻预处理图案，以区分蚀刻及非蚀刻区域的模板；用于驱动所述支撑台，使所述支撑台与模板相接触的驱动装置。