-
公开(公告)号：CN110918522B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN201910797652.5
申请日：2019-08-27
Applicant: 显示器生产服务株式会社
Abstract: 本发明涉及提高耐久性、削减使用时的过载、更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。基板冲洗装置包括：辊刷组件，第一支撑部，第二支撑部，第一旋转部，第二旋转部，以及施压部。辊刷组件具有基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔；在基管的外周表面的刷；引入塞，分别耦合到基管的两端并密闭贯通孔。第一、第二支撑部分别间隔配设在辊刷组件的两端。第一旋转部耦合到辊刷组件一端的引入塞，与辊刷组件一体旋转。第二旋转部耦合到辊刷组件另一端的引入塞，与辊刷组件一体旋转。施压部一端耦合到第二支撑部，另一端与第二旋转部耦合，向辊刷组件另一端的引入塞的方向对第二旋转部加压，使第二旋转部耦合到辊刷组件另一端的引入塞。
-
公开(公告)号：CN112824263B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202011180209.2
申请日：2020-10-29
Applicant: 显示器生产服务株式会社
IPC: B65G13/11
Abstract: 本发明公开了一种基板传送装置用接地单元、基板传送装置用接地单元的组装方法和包括接地单元的基板传送装置。基板传送装置用接地单元包括：支撑块，结合到支撑框架，支撑框架设置有用于传送基板的多个轴单元；支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为沿着排列有多个轴单元的基板的传送方向，在结合到支撑块的状态下接地；以及电刷，由导电性材料制成，结合到支撑板，沿支撑板的长度方向配置，同时接触多个轴单元。
-
公开(公告)号：CN115009759A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210129164.9
申请日：2022-02-11
Applicant: 显示器生产服务株式会社
IPC: B65G13/073 , H01L21/677 , B65G49/07 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板传送装置，可以使用将配置在腔室外部的动力产生部和配置在腔室内部的传送部连接的金属丝部件，利用腔室和金属丝部件之间的缩小的摩擦面积使密封面积最小化并大幅减少腔室内部的颗粒产生。为此，本发明提供的基板传送装置包括：腔室，具有形成有与处理基板的处理空间连通的贯通孔的侧壁；传送部，配置在处理空间内并具有传送基板的传送轴；动力产生部，以侧壁为基准配置在处理空间的相反侧，产生用于传送基板的驱动力；动力传递部，贯通贯通孔而将动力产生部和传送部连接，并将动力产生部的驱动力传递到传送部，所述动力传递部包括：第一连接部件、第二连接部件、以及金属丝部件。
-
公开(公告)号：CN109390251B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201810878720.6
申请日：2018-08-03
Applicant: 显示器生产服务株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及在一个流程空间中可清除基板上的雾并将基板表面改质的基板处理装置及利用此装置的直列式基板处理系统，包括形成了用于处理基板的内部空间的腔室本体；传送基板的传送装置；在腔室本体内相邻于基板的传出口侧的第一区域，和设置在传送装置的上方的对所传送基板照射紫外线的紫外线照射装置；在腔室本体内相邻于基板的传入口侧的第二区域，和设置在传送装置的下方加热腔室本体内部空间的红外线加热装置；设置在紫外线照射装置的相反方向，用于反射紫外线照射装置所生成的热量、至少包含一个第一反射板的第一反射装置；及设置在红外线加热装置的相反方向，用于反射红外线加热装置所生成的热量、至少包含一个第二反射板的第二反射装置。
-
公开(公告)号：CN113071900A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202011459908.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 显示器生产服务株式会社
IPC: B65G47/74
Abstract: 本发明提供一种基板传送装置，能够实现稳定且精确的基板传送。该基板传送装置包括：传送框架，在两端部处配备有与驱动部结合的连接框架；以及支撑框架，在上部处放置用于传送的基板，并且，具有结合支撑在所述传送框架上的中央支撑部和从所述中央支撑部向两侧延长形成的自由端部，其中，所述支撑框架包括：第一支撑框架，延长形成为在基板的宽度方向上具有第一长度，并且弯曲形成为在下部方向上凸出地具有预先设定的曲率；以及第二支撑框架，结合到所述第一支撑框架的下部，延长形成为具有比所述第一长度短的第二长度，并且，弯曲形成为具有与所述第一支撑框架的曲率相对应的曲率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111792328A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010187065.7
申请日：2020-03-17
Applicant: 显示器生产服务株式会社
Abstract: 本发明涉及一种在将基板竖直传送的同时可以将基板姿态从水平状态自动转换为倾斜状态或者从倾斜状态自动转换为水平状态的基板传送装置。本发明的特征在于包括：第一传送部，从第一工序生产线以水平状态传送基板；第二传送部，从配置在比所述第一工序生产线的高度低的高度处的第二工序生产线以倾斜状态传送基板；以及竖直传送部，将基板从所述第一工序生产线竖直传送到所述第二工序生产线侧或者从所述第二工序生产线竖直传送到所述第一工序生产线侧，所述竖直传送部包括：运送器单元，运送运基板出入第一传送部或所述第二传送部；升降单元，用于竖直传送运送器单元；以及倾斜转换单元，用于将水平状态的所述运送器单元转换为倾斜状态。
-
公开(公告)号：CN109405593B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201810941201.X
申请日：2018-08-17
Applicant: 显示器生产服务株式会社
Abstract: 本发明涉及一种热交换器及其制造方法和热交换模块及其制造方法，通过增加用于对药液进行热交换的热交换面积来提高热交换效率。热交换器包括：本体装置，连接于基板处理装置的药液排出口，具有形成热交换空间的本体外罩，该热交换空间对从液排出口排出的高温药液进行热交换；固定装置，包括设置在本体外罩内部的固定部件、密封固定部件前端的前端板和密封固定部件后端的后端板；至少一个冷却管，以线圈的形式缠绕在固定部件的外侧面，并具有沿固定部件的半径方向层叠的第一层冷却管和第二层冷却管，通过冷却流体流动与药液进行热交换；和设置在第一层和第二层冷却管之间，用于保持第一层和第二层冷却管之间间隔的间隔保持部件。
-
公开(公告)号：CN106981442B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201610811889.0
申请日：2016-09-09
Applicant: 显示器生产服务株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种药液排出装置，包括：泵单元，所述泵单元具有泵外壳，及配置在所述泵外壳的内部，并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管，在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室；气缸单元，所述气缸单元具有用所述泵单元将所述非压缩性流体供应的活塞，及结合在所述活塞下部的气缸杆，及具有收容所述活塞的气缸板；驱动单元，具有用于使所述气缸杆移动的发动机；动力传达单元，用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动；及套管单元，一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且支承所述活塞的同时，防止所述活塞的晃动，另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩性流体移动的壁面流路。
-
公开(公告)号：CN107008696A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201610973269.7
申请日：2016-11-04
Applicant: 显示器生产服务株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷射装置，其特征在于，包括：上部块，在其内部具有收容液体的上部腔室；下部块，形成与所述上部腔室连通的流路，同时配置在所述上部块的下部；并且，侧面块，结合于所述上部块及所述下部块的两侧面上，形成利用所述上部腔室将所述液体注入的液体注入部，所述下部块，包括：第1外部板及内部板，从所述上部块的下部相互相对配置，及第1流路形成部件，配置于所述第1外部板及所述内部板之间，形成第1流路壁的同时与所述第1外部板及所述内部板共同形成第1流路，及流路形成部件固定单元，用于将所述第1流路形成部件固定到所述内部板上。
-
公开(公告)号：CN102586755B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201110280169.3
申请日：2011-09-21
Applicant: 显示器生产服务株式会社
IPC: C23C16/44
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/45559
Abstract: 公开了一种用于化学气相沉积的装置。本发明的一个方面提供了一种用于化学气相沉积的装置，包括：被构造成界定反应空间的工艺室；背板，位于反应空间上方且在背板中间具有气体入口；气体扩散部件，设置在气体入口下方且与气体入口分离，通过第一耦合部件耦合到背板并被配置成扩散经由气体入口提供的工艺气体；喷头，设置在背板和气体扩散部件下方且与背板和气体扩散部件分离，喷头的中间部分通过第二耦合部件耦合到气体扩散部分，喷头具有穿孔其中的多个喷洒孔；和基座，设置在喷头下方且与喷头分离，且支撑基板。该气体扩散部件具有垂直穿透气体扩散部件的多个气体引导孔，使得经由气体入口提供的工艺气体扩散向气体扩散部件的下侧。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
227
records
(took 0.033 seconds)
