公开(公告)号：CN1609273A

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：CN200410034732.9

申请日：2004-05-09

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 田口裕康 ,  儿玉孝德

IPC: C23C28/00

CPC classification number: C23C28/321 ,  C23C28/322 ,  C23C28/345

Abstract: 本发明提供一种对于在半导体制造工艺等中应用的卤系的腐蚀性气体的耐腐蚀性优异、具有良好的氟化钝化层的耐久性、同时在使用时污染气体的产生少的耐腐蚀性材料及其制造方法。本发明的耐腐蚀性材料及其制造方法的特征在于，包含在金属等构成的基材的表面上形成的镍层或者镍合金层、在其表面上形成的氧化镍层、在氧化镍表面上形成的氟化镍层。

公开(公告)号：CN100392151C

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：CN200410034732.9

申请日：2004-05-09

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 田口裕康 ,  儿玉孝德

IPC: C23C28/00

CPC classification number: C23C28/321 ,  C23C28/322 ,  C23C28/345

Abstract: 本发明提供一种对于在半导体制造工艺等中应用的卤系的腐蚀性气体的耐腐蚀性优异、具有良好的氟化钝化层的耐久性、同时在使用时污染气体的产生少的耐腐蚀性材料及其制造方法。本发明的耐腐蚀性材料及其制造方法的特征在于，包含在金属等构成的基材的表面上形成的镍层或者镍合金层、在其表面上形成的氧化镍层、在氧化镍表面上形成的氟化镍层。

公开(公告)号：CN1310305A

公开(公告)日：2001-08-29

申请号：CN01112381.8

申请日：2001-01-21

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 儿玉孝德 ,  大场庆一

IPC: F16K1/00 ,  F16K27/00 ,  F16K41/10

Abstract: 阀,特别是球型阀,其设有阀主体和阀盖,阀主体具有通过阀体/阀座从流体入口至流体出口的流体通道,阀盖与阀主体一体装配以封闭流体通道的开孔部,所述阀具有在阀主体的流体通道表面膜厚度至少为0.1－5μm的金属氧化物钝态层。最好,在主体的流体通道表面具有镍保护层,在强制氧化该镍保护膜表面后形成所述金属卤化物钝态保护层。具有由顶部贯穿阀盖的阀体构成的阀杆,阀杆贯通阀盖产生的间隙由波纹管结构密封。波纹管由耐腐镍基合金制成且具有无缝结构。通过阀体/阀座从流体入口至流体出口的前述流体通道为S字形通道。阀的开度应小于阀的公称直径的(1/3)×1.1。