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公开(公告)号：CN108732393B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201810216758.7
申请日：2018-03-15
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 一种探针卡，用以对一待测物进行检测，包括：设有多个线路的电路板；探针模块，其包括有至少一探针，具有悬臂梁、针臂座、针尖座以及针尖，悬臂梁具有两相背对的第一面与第二面，第二面朝向待测物；针臂座设置于第一面，用以与一线路电性连接；针尖座设置于第二面；针尖设置于针尖座背离第二面的表面，所述针尖用以与待测物接触；以及导电框，以导电材料制成，并与另一线路电性连接，传导框环设于至少一探针的周围，传导框与至少一探针保有一间距。
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公开(公告)号：CN105158531A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510303805.8
申请日：2015-06-04
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/07314 , B81C1/00373 , B81C1/00611 , G01R1/06716
Abstract: 本发明涉及一种探针，该探针包括主体部、导电部、附着层、集肤效应层及挡止部，用于组装一探针头，该探针头包括一下导板及一上导板。导电部叠合于主体部的至少一部分。附着层包覆主体部及导电部。集肤效应层包覆附着层。挡止部用于挡止下导板或上导板。主体部的材质包括第一材料，导电部的材质包括第二材料，集肤效应层的材质包括第三材料，第三材料的导电性大于第二材料的导电性，第二材料的导电性大于第一材料的导电性，第一材料的硬度大于第二材料的硬度，且第一材料的硬度大于第三材料的硬度。
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公开(公告)号：CN107796966B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201710523677.7
申请日：2017-06-30
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种垂直式探针，具有一针尾、一针身及一用于点触待测物的针头，且包含有相互固定的一结构件、一绝缘层及一导电件，绝缘层将导电件完全与结构件分隔开而使导电件与结构件相互绝缘；结构件包含有针尾及至少部分的针身，导电件包含有至少部分的针头；或者，结构件对应针尾、针身及针头的形状，绝缘层包覆至少部分的结构件且至少位于针头，导电件为一包覆至少部分的绝缘层的导电层且位于针头，用于接触待测物。由此，垂直式探针可符合高频测试需求且容易安装。本发明更提供垂直式探针的制造方法，以及使用垂直式探针的探针头及探针卡。
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公开(公告)号：CN110007117A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201811572835.9
申请日：2018-12-21
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明公开了一种探针卡，包含空间转换器、印刷电路板以及多个焊接元件。空间转换器设置有第一导电凸块，第一导电凸块具有第一端面。印刷电路板设置有第二导电凸块，第二导电凸块具有第二端面。焊接元件分别电性连接于第二端面与对应的第一端面之间。空间转换器背离印刷电路板的第一表面具有第一平整度，印刷电路板背离空间转换器的第二表面具有第二平整度，第一平整度小于第二平整度。探针卡能使空间转换器与印刷电路板稳妥地固定，以增加制成品的稳定性。
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公开(公告)号：CN106990271A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611113046.X
申请日：2016-12-06
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/07357 , B81B1/008 , B81C1/00007 , G01R1/06738 , G01R1/06744 , G01R3/00
Abstract: 本发明涉及一种微机电探针，探针的制造方法为先利用微机电制程成型，再通过切削加工在一针尖部形成一切削面，探针具有一上表面、一身部以及实质上自身部朝一点触方向延伸的针尖部，针尖部具有第一、二侧面以及一实质上朝向点触方向的点触端，切削面于上表面呈下倾状、与第一、二侧面及点触端邻接，且具有由切削加工所形成的至少一切痕，切痕实质上自第一侧面延伸至第二侧面且非平行于点触方向，且切削面自一边缘切痕下倾至点触端；由此，点触端面积小，因此探针针痕小、易划破待测物的钝化层，且影像辨识度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101625374A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200810137682.5
申请日：2008-07-08
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 一种针尖结构，包括一块体，其含有一基座部分和从基座部分的一边缘凸出的一鼻端，鼻端上具有一接触点，其中，块体具有一轮廓，轮廓在基座部分的投影截面积宽度大于在接触点的投影截面积宽度。一种针尖成型方法，其中，包括下列步骤：A：提供一具有一孔洞的牺牲层；B：以牺牲层为模具形成一块体在孔洞中，块体含有一基座部分和从基座部分的一边缘凸出的一鼻端；C：形成一遮蔽层覆盖块体的第一表面，遮蔽层具有一开口暴露块体的第二表面；D：从开口部分蚀刻块体，使鼻端上形成一接触点；E：移除遮蔽层；F：移除牺牲层。
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公开(公告)号：CN107796966A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710523677.7
申请日：2017-06-30
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种垂直式探针，具有一针尾、一针身及一用于点触待测物的针头，且包含有相互固定的一结构件、一绝缘层及一导电件，绝缘层将导电件完全与结构件分隔开而使导电件与结构件相互绝缘；结构件包含有针尾及至少部分的针身，导电件包含有至少部分的针头；或者，结构件对应针尾、针身及针头的形状，绝缘层包覆至少部分的结构件且至少位于针头，导电件为一包覆至少部分的绝缘层的导电层且位于针头，用于接触待测物。由此，垂直式探针可符合高频测试需求且容易安装。本发明更提供垂直式探针的制造方法，以及使用垂直式探针的探针头及探针卡。
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公开(公告)号：CN107656107B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201710506344.3
申请日：2017-06-28
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
IPC: G01R1/067
Abstract: 本发明涉及一种具有悬臂式微机电探针的探针模块的制造方法，其提供一电路基板，所述电路基板具有朝向相反方向的第一、二表面，先利用微机电制程在所述第一表面形成一悬臂式微机电探针，所述悬臂式微机电探针具有一与所述第一表面的一电性接点电性连接的支撑部、一与所述支撑部连接的悬臂，以及一与所述悬臂连接的针头，然后利用一刀具以从所述第二表面朝所述第一表面的方向在所述电路基板加工出一穿孔，使得所述穿孔的位置对应于所述针头及所述悬臂；由此，本发明能以较简便、较省时且成本较低的方式使悬臂式微机电探针具有较短的支撑部但仍可避免碰撞电路基板。
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公开(公告)号：CN111044764A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910773442.2
申请日：2019-08-21
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种具有微机电探针的探针模块及其制造方法，包含有一电路基板以及至少一通过微机电制程形成于电路基板一植针表面的微机电探针，微机电探针包含有一针身以及一针尖，针身包含有第一、二端部以及一纵长部，纵长部具有面向相反的第一、二方向的第一、二表面，针尖自针身朝第一方向延伸而出且更经由镭射切割成渐缩状而具有一尖端，第一、二端部至少其中之一具有一朝第二方向凸出于第二表面的支撑座，支撑座连接于植针表面而使纵长部及针尖悬空于植针表面上方；由此，微机电探针的针尖的尖端微小而可适用于微小电子元件的检测，且制造方法省时并具有高合格率。
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公开(公告)号：CN108732393A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810216758.7
申请日：2018-03-15
Applicant: 旺矽科技股份有限公司
Abstract: 一种探针卡，用以对一待测物进行检测，包括：设有多个线路的电路板；探针模块，其包括有至少一探针，具有悬臂梁、针臂座、针尖座以及针尖，悬臂梁具有两相背对的第一面与第二面，第二面朝向待测物；针臂座设置于第一面，用以与一线路电性连接；针尖座设置于第二面；针尖设置于针尖座背离第二面的表面，所述针尖用以与待测物接触；以及导电框，以导电材料制成，并与另一线路电性连接，传导框环设于至少一探针的周围，传导框与至少一探针保有一间距。
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