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公开(公告)号：CN102084030B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN200980126092.5
申请日：2009-07-16
Applicant: 旭硝子欧洲玻璃公司
IPC: C23C16/509 , C23C16/54 , C03C17/00
CPC classification number: C23C16/509 , C03C17/002 , C03C2218/365 , C23C16/54
Abstract: 一种在基片(2)的两侧同时沉积膜的方法，它包含把基片(2)引入反应室(106、206)中，或者使所述基片移动通过反应室(106、206)，在所述室中放置至少两个电极(110、210)。在所述两个电极(110、210)之间放置至少一个电介质挡板(14、114)。与包含所述至少两个电极的电路并联地在变压器的次级电路中放置可调电感器(L)。产生高频电压，所述电压可在所述至少两个电极(110、210)之间的基片的两侧产生丝状等离子体(112、212)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102083554B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200980126120.3
申请日：2009-07-16
Applicant: 旭硝子欧洲玻璃公司
IPC: B08B7/00
CPC classification number: B08B7/0035 , H01J37/32009 , H01J37/32348 , H01J37/32376 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 一种用于基片(2)的表面制备方法，它包括把基片(2)引入反应室(6，106)中，或者使所述基片移动穿过反应室(6，106)。电介质档板(14，114)被置于电极(1，10，110)之间。产生高频电压，以产生丝状等离子体(12，112)。分子(8，108)被引入反应室(6，106)中。当与等离子体接触时，所述分子产生与基片的表面反应的活性物质。采用与设备的电感器并联放置的可调电感器(L)，以减小产生的电压和电流之间的相移，和增大其间电流在等离子体(12，112)中流动的时间。
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公开(公告)号：CN102084030A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980126092.5
申请日：2009-07-16
Applicant: 旭硝子欧洲玻璃公司
IPC: C23C16/509 , C23C16/54 , C03C17/00
CPC classification number: C23C16/509 , C03C17/002 , C03C2218/365 , C23C16/54
Abstract: 一种在基片(2)的两侧同时沉积膜的方法，它包含把基片(2)引入反应室(106、206)中，或者使所述基片移动通过反应室(106、206)，在所述室中放置至少两个电极(110、210)。在所述两个电极(110、210)之间放置至少一个电介质挡板(14、114)。与包含所述至少两个电极的电路并联地在变压器的次级电路中放置可调电感器(L)。产生高频电压，所述电压可在所述至少两个电极(110、210)之间的基片的两侧产生丝状等离子体(112、212)。
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公开(公告)号：CN102083554A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980126120.3
申请日：2009-07-16
Applicant: 旭硝子欧洲玻璃公司
IPC: B08B7/00
CPC classification number: B08B7/0035 , H01J37/32009 , H01J37/32348 , H01J37/32376 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 一种用于基片(2)的表面制备方法，它包括把基片(2)引入反应室(6，106)中，或者使所述基片移动穿过反应室(6，106)。电介质档板(14，114)被置于电极(1，10，110)之间。产生高频电压，以产生丝状等离子体(12，112)。分子(8，108)被引入反应室(6，106)中。当与等离子体接触时，所述分子产生与基片的表面反应的活性物质。采用与设备的电感器并联放置的可调电感器(L)，以减小产生的电压和电流之间的相移，和增大其间电流在等离子体(12，112)中流动的时间。
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公开(公告)号：CN102112657B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN200980126370.7
申请日：2009-07-16
Applicant: 旭硝子欧洲玻璃公司
IPC: C23C16/509 , C23C16/54 , C03C17/00
CPC classification number: C23C16/52 , C03C17/001 , C03C17/002 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01J37/32174 , H01J37/32348 , H01J37/32403 , H01J37/32889
Abstract: 一种在基板(2)上沉积薄膜的工艺，具体包括引入基板(2)到至少设置有两个电极(10，110，210)的反应腔(6，106，206)中。产生高频电压，所述的电压在两电极(10，110，210)之间生成丝状的等离子体(12，112，212)。应用与产生电压的装置中的电感器并联设置的可调电感器(L)，以减少电压和产生的电流之间的相移和增加电流流经等离子体(12，112，212)所持续的时间。
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公开(公告)号：CN102112657A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200980126370.7
申请日：2009-07-16
Applicant: 旭硝子欧洲玻璃公司
IPC: C23C16/509 , C23C16/54 , C03C17/00
CPC classification number: C23C16/52 , C03C17/001 , C03C17/002 , C23C16/509 , C23C16/54 , H01J37/32174 , H01J37/32348 , H01J37/32403 , H01J37/32889
Abstract: 一种在基板(2)上沉积薄膜的工艺，具体包括引入基板(2)到至少设置有两个电极(10，110，210)的反应腔(6，106，206)中。产生高频电压，所述的电压在两电极(10，110，210)之间生成丝状的等离子体(12，112，212)。应用与产生电压的装置中的电感器并联设置的可调电感器(L)，以减少电压和产生的电流之间的相移和增加电流流经等离子体(12，112，212)所持续的时间。
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