公开(公告)号：CN1646440A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03808732.4

申请日：2003-04-23

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 生田顺亮 ,  阿形纪之

IPC: C03C3/06 ,  G02B1/02 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70958 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/21 ,  G02B1/02

Abstract: 一种光学构件用合成石英玻璃，在以ArF受激准分子激光器激光为光源的光学装置内，于能量密度2mJ/cm2/脉冲以下使用，或者是以KrF受准分子激光器激光为光源的光学装置内，于能量密度30mJ/cm2/脉冲以下使用，其特征在于，其氢分子浓度在1×1016分子/cm3以上、5×1016分子/cm3以下的范围内。

公开(公告)号：CN100389085C

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN03808732.4

申请日：2003-04-23

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 生田顺亮 ,  阿形纪之

IPC: C03C3/06 ,  G02B1/02 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70958 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/21 ,  G02B1/02

Abstract: 一种光学构件用合成石英玻璃，在以ArF受激准分子激光器激光为光源的光学装置内，于能量密度2mJ/cm2/脉冲以下使用，或者是以KrF受准分子激光器激光为光源的光学装置内，于能量密度30mJ/cm2/脉冲以下使用，其特征在于，其氢分子浓度在1×1016分子/cm3以上、5×1016分子/cm3以下的范围内。

公开(公告)号：CN101479206B

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN200780022562.4

申请日：2007-06-13

Applicant: 东京电波株式会社 ,  旭硝子株式会社

Inventor： 阿形纪之 ,  菊川信也 ,  清水汤隆 ,  吉田和美 ,  西本正俊

IPC: C03C3/06 ,  C01B33/12

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C30B7/10 ,  C30B29/18 ,  Y10T117/1008

Abstract: 本发明的目的为提供一种人造石英部件，其使得被波长为200nm以下的激光长期照射引起的在激光波长范围内的透射率减少被抑制；以及一种制造所述人造石英部件的方法。本发明提供一种用作被波长为200nm以下的激光照射的光学元件的人造石英部件，其铝含量为200ppb以下。

公开(公告)号：CN101479206A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200780022562.4

申请日：2007-06-13

Applicant: 东京电波株式会社 ,  旭硝子株式会社

Inventor： 阿形纪之 ,  菊川信也 ,  清水汤隆 ,  吉田和美 ,  西本正俊

IPC: C03C3/06 ,  C01B33/12

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C30B7/10 ,  C30B29/18 ,  Y10T117/1008

Abstract: 本发明的目的为提供一种人造石英部件，其使得被波长为200nm以下的激光长期照射引起的在激光波长范围内的透射率减少被抑制；以及一种制造所述人造石英部件的方法。本发明提供一种用作被波长为200nm以下的激光照射的光学元件的人造石英部件，其铝含量为200ppb以下。