公开(公告)号：CN101479206B

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN200780022562.4

申请日：2007-06-13

Applicant: 东京电波株式会社 ,  旭硝子株式会社

Inventor： 阿形纪之 ,  菊川信也 ,  清水汤隆 ,  吉田和美 ,  西本正俊

IPC: C03C3/06 ,  C01B33/12

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C30B7/10 ,  C30B29/18 ,  Y10T117/1008

Abstract: 本发明的目的为提供一种人造石英部件，其使得被波长为200nm以下的激光长期照射引起的在激光波长范围内的透射率减少被抑制；以及一种制造所述人造石英部件的方法。本发明提供一种用作被波长为200nm以下的激光照射的光学元件的人造石英部件，其铝含量为200ppb以下。

公开(公告)号：CN101479206A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200780022562.4

申请日：2007-06-13

Applicant: 东京电波株式会社 ,  旭硝子株式会社

Inventor： 阿形纪之 ,  菊川信也 ,  清水汤隆 ,  吉田和美 ,  西本正俊

IPC: C03C3/06 ,  C01B33/12

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C30B7/10 ,  C30B29/18 ,  Y10T117/1008

Abstract: 本发明的目的为提供一种人造石英部件，其使得被波长为200nm以下的激光长期照射引起的在激光波长范围内的透射率减少被抑制；以及一种制造所述人造石英部件的方法。本发明提供一种用作被波长为200nm以下的激光照射的光学元件的人造石英部件，其铝含量为200ppb以下。