公开(公告)号：CN101297380A

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：CN200680040301.0

申请日：2006-10-25

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 佐藤了平 ,  中川浩司 ,  森永英二 ,  臼井玲大 ,  矶野贵充 ,  田中健治 ,  高木悟 ,  江畑研一 ,  坂本宽

IPC: H01B5/14 ,  H01J11/00 ,  H01B13/00

CPC classification number: H01J9/02 ,  C03C17/2453 ,  C03C23/0025 ,  C03C23/007 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/23 ,  C03C2217/231 ,  C03C2217/24 ,  C03C2218/151 ,  H05K3/027 ,  H05K2201/0108 ,  H05K2201/0326 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49155

Abstract: 本发明的目标是提供一种用于制造带有氧化锡薄膜的透明衬底的方法，即使通过低能量激光来辐照所述氧化锡薄膜也可以令人满意地图案化，因为由此会发生烧蚀现象。本发明涉及一种用于制造带有电路图案的透明衬底的方法，包括使用波长1,064nm的激光辐照附着有薄膜的透明衬底以在所述透明衬底上形成电路图案，所述附着有薄膜的透明衬底包括上面带有透明导电膜的透明衬底，所述透明导电膜的载流子浓度为5×1019/cm3或更高。