基板的研磨装置及基板的研磨方法

    公开(公告)号:CN102416597A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201010297257.X

    申请日:2010-09-28

    Abstract: 本发明提供一种能够长时间顺利地对玻璃基板进行研磨的基板的研磨装置及基板的研磨方法。本发明将与吸附片相比拉伸方向的刚性高的中间片夹在膜体和吸附片之间并进行粘接。通过研磨中产生的研磨阻力,膜体在拉伸方向上伸缩,由于膜体的伸缩动作,有时中间片和膜体之间发生剥离,但由于中间片介于膜体和吸附片之间,因此在因玻璃基板G的吸附而制约伸缩的吸附片和拉伸方向的刚性比吸附片高的中间片之间,由于中间片在拉伸方向上不伸缩,因此不会发生相对偏离,能够防止吸附片从中间片剥离并卷起。

    带层叠膜的玻璃基板的制造方法

    公开(公告)号:CN103649003A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201280034422.X

    申请日:2012-07-12

    Abstract: 将与玻璃带相对的各喷射器的相对面的面积S(m2)设定为满足S≤(0.0116×P×Cg×T)/{ε×F×σ(Tgla4-Tinj4)}。上式中,P为玻璃带的流量(吨/天),Cg为玻璃的比热(J/(kg·℃)),T为从1个喷射器的入口到出口被冷却的玻璃带的允许下降温度(℃),ε为辐射率,F为面对面的形状系数,σ为玻尔兹曼常数(5.67×10-8(W/m2·K4)),Tgla为使用以与K型热电偶接触的方式测定喷射器入口的玻璃带温度而得到的测定值Tin和以与K型热电偶接触的方式测定喷射器出口的玻璃带温度而得到的测定值Tout并用K=(Tin+Tout)/2表示的玻璃带的温度(K),Tinj为喷射器的相对面温度(K)。

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