公开(公告)号：CN105838258A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610079482.3

申请日：2016-02-04

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉田有衣子

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/3105

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09D1/02 ,  C09K3/1463 ,  C09K13/00 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31053

Abstract: 本发明涉及一种研磨剂与研磨方法、及研磨用添加液，所述研磨剂的特征在于，含有：氧化铈粒子，具有选自羧酸基和羧酸的盐的至少一者的水溶性有机聚合物，在分子中具有选自叔氨基和氧基亚烷基链的至少一者的水溶性聚酰胺，以及水，且其pH为7以下。

公开(公告)号：CN104024366A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280065128.5

申请日：2012-12-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉田有衣子 ,  吉田伊织 ,  竹宫聪

IPC: C09K3/14 ,  H01L21/02 ,  B24B37/00 ,  B24B57/00

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  B24B57/02 ,  C09K3/1409 ,  H01L21/02024 ,  H01L29/1608

Abstract: 本发明涉及一种研磨剂用添加剂，其在反复使用的研磨剂被反复使用的期间内随时添加到该研磨剂中，由此能够抑制研磨剂的研磨特性、特别是研磨速度的降低。另外，本发明涉及一种研磨方法，其利用反复使用的研磨剂，该研磨方法能够抑制研磨剂的研磨特性、特别是研磨速度的降低。

公开(公告)号：CN102985508A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180033927.X

申请日：2011-06-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 吉田有衣子

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/044 ,  C09K3/1409 ,  H01L21/02024 ,  H01L33/007

Abstract: 本发明涉及用于研磨研磨对象物（1）的被研磨面的研磨剂（5），其含有：平均一次粒径为5～20nm的第一氧化硅微粒、平均一次粒径为40～110nm的第二氧化硅微粒和水，且所述第一氧化硅微粒在所述第一氧化硅微粒和第二氧化硅微粒的总量中占的比例为0.7～30质量％。