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公开(公告)号：CN112334833A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980041387.6
申请日：2019-07-18
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供可得到高的耐化学药品性和分辨率、且在高温保存试验后能够抑制在Cu层的与树脂层接触的界面产生空隙的负型感光性树脂组合物、及使用其的固化浮雕图案的形成方法。提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：(A)以下的通式(1)所示的聚酰亚胺前体；(B)包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及(C)光聚合引发剂。式(1)中，X1、Y1、n1、R1和R2分别在本申请说明书中被定义。
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公开(公告)号：CN116609998A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310124490.5
申请日：2023-02-16
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 藤冈孝亘
Abstract: 提供聚酰亚胺前体、负型感光性树脂组合物和使用其的固化浮雕图案的制造方法。一种负型感光性树脂组合物，其包含：(A)包含通式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体和(B)溶剂。式(1)中，X1为任选包含杂原子的碳原子数4～40的四价有机基团；Y1为任选包含杂原子的碳原子数6～40的二价有机基团；R1和R2各自独立地为选自由氢原子、任选包含杂原子的碳原子数1～40的一价有机基团和具有杂环结构的一价有机基团组成的组中的1种。R1和R2之中的至少一者为具有杂环结构的一价有机基团，或者，OR1和OR2之中的至少一者是除氢原子之外的构成原子之中的杂原子数的比例为42％以上的一价有机基团。
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公开(公告)号：CN119213364A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202380041310.5
申请日：2023-03-30
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F290/14 , G03F7/004 , G03F7/075
Abstract: 根据本发明，提供具有低介电特性、低固化收缩、及良好的保存稳定性、涂布时的相分离减少、能够形成高分辨率且具有高的铜密合性的固化浮雕图案的感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜。本发明的感光性树脂组合物包含：100质量份的包含聚酰亚胺及聚酰亚胺前体的共聚树脂、0.5～30质量份的光聚合引发剂、及100～1000质量份的溶剂。共聚树脂具有特定结构的聚酰亚胺嵌段部分、及聚酰亚胺前体嵌段部分，上述包含聚酰亚胺及聚酰亚胺前体的共聚树脂满足0.10＜n2/(n2+n3)＜0.90。
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公开(公告)号：CN112334833B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN201980041387.6
申请日：2019-07-18
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供可得到高的耐化学药品性和分辨率、且在高温保存试验后能够抑制在Cu层的与树脂层接触的界面产生空隙的负型感光性树脂组合物、及使用其的固化浮雕图案的形成方法。提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：(A)以下的通式(1)所示的聚酰亚胺前体；(B)包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及(C)光聚合引发剂。式(1)中，X1、Y1、n1、R1和R2分别在本申请说明书中被定义。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN115039029A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180011980.3
申请日：2021-01-27
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F290/14 , C08G73/10 , G03F7/004 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种在铜布线上形成浮雕图案时显示高清晰度、即便固化温度为低温也会充分进行酰亚胺化、能够制造与铜布线的密合性良好的固化浮雕图案的负型感光性树脂组合物，以及使用该负型感光性树脂组合物来制造固化浮雕图案的方法。负型感光性树脂组合物包含：(A)包含特定通式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体、以及(B)光聚合引发剂，所述结构单元包含具有脲结构的1价有机基团。
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