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发明公开
感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜审中-实审

公开(公告)号：CN119213364A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380041310.5

申请日：2023-03-30

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 涩井智史 , 石田真一郎 , 佐藤友香 , 藤冈孝亘

IPC: G03F7/027 , C08F290/14 , G03F7/004 , G03F7/075

Abstract: 根据本发明，提供具有低介电特性、低固化收缩、及良好的保存稳定性、涂布时的相分离减少、能够形成高分辨率且具有高的铜密合性的固化浮雕图案的感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜。本发明的感光性树脂组合物包含：100质量份的包含聚酰亚胺及聚酰亚胺前体的共聚树脂、0.5～30质量份的光聚合引发剂、及100～1000质量份的溶剂。共聚树脂具有特定结构的聚酰亚胺嵌段部分、及聚酰亚胺前体嵌段部分，上述包含聚酰亚胺及聚酰亚胺前体的共聚树脂满足0.10＜n2/(n2+n3)＜0.90。

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