感光性树脂组合物、感光性元件以及抗蚀图案的形成方法

    公开(公告)号:CN104678700B

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201410589930.5

    申请日:2014-10-28

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件以及抗蚀图案的形成方法。本发明提供一种能够缩短显影时间且能够形成具有充分高的耐酸性、密合性以及可挠性的抗蚀图案的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物,其含有(A)具有下述通式(I)所表示的结构单元、下述通式(II)所表示的结构单元和下述通式(III)所表示的结构单元的粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物以及(C)光聚合引发剂。式(I)、(II)以及(III)中,R1、R2以及R4各自独立地表示氢原子或者甲基,R3表示碳原子数1~30的烷基,R5表示碳原子数1~10的烷基等,AO表示氧亚烷基。m表示0~5的整数,s表示1~5,在m为2~5时,多个R5彼此可以相同也可以不同。

    感光性树脂组合物、感光性元件以及抗蚀图案的形成方法

    公开(公告)号:CN104678700A

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201410589930.5

    申请日:2014-10-28

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件以及抗蚀图案的形成方法。本发明提供一种能够缩短显影时间且能够形成具有充分高的耐酸性、密合性以及可挠性的抗蚀图案的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物,其含有(A)具有下述通式(I)所表示的结构单元、下述通式(II)所表示的结构单元和下述通式(III)所表示的结构单元的粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物以及(C)光聚合引发剂。式(I)、(II)以及(III)中,R1、R2以及R4各自独立地表示氢原子或者甲基,R3表示碳原子数1~30的烷基,R5表示碳原子数1~10的烷基等,AO表示氧亚烷基。m表示0~5的整数,s表示1~5,在m为2~5时,多个R5彼此可以相同也可以不同。

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