公开(公告)号：CN1513122A

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN02810961.9

申请日：2002-05-30

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 黑田敏裕 ,  近藤圆华 ,  吉野淳 ,  宫寺信生

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/13

CPC classification number: G02B6/4204 ,  G02B6/132 ,  G02B6/138 ,  G02B6/30 ,  G02B6/4202 ,  G02B2006/121

Abstract: 本发明提供树脂制的光学元件的制造方法，该方法在使用具备凹部的基片的光学元件的制造过程中，能够容易地去除凹部内的覆膜。该光学元件具有基片(1)、配置在基片(1)上的部分区域的树脂制的光波导结构层(10)、在未配置光波导结构层(10)的区域形成的凹部(21)。光波导结构层(10)含有光波导(4)和包层。在基片(1)和光波导结构层(10)之间配置连接层，在光波导(4)的下部区域中的连接层的膜厚分布范围是在最小膜厚大于等于30埃、最大膜厚小于等于200埃的范围。

公开(公告)号：CN100456063C

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN02810961.9

申请日：2002-05-30

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 黑田敏裕 ,  近藤圆华 ,  吉野淳 ,  宫寺信生

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  B05C11/08

CPC classification number: G02B6/4204 ,  G02B6/132 ,  G02B6/138 ,  G02B6/30 ,  G02B6/4202 ,  G02B2006/121

Abstract: 本发明提供树脂制的光学元件的制造方法，该方法在使用具备凹部的基片的光学元件的制造过程中，能够容易地去除凹部内的覆膜。该光学元件具有基片(1)、配置在基片(1)上的部分区域的树脂制的光波导结构层(10)、在未配置光波导结构层(10)的区域形成的凹部(21)。光波导结构层(10)含有光波导(4)和包层。在基片(1)和光波导结构层(10)之间配置连接层，在光波导(4)的下部区域中的连接层的膜厚分布范围是在最小膜厚大于等于30埃、最大膜厚小于等于200埃的范围。