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公开(公告)号：CN113544519B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN201980093681.1
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种使线路基板的电极区域与连接件的接触面积比以往大而抑制接触电阻、能够实现稳定的电性连接性的电性连接装置。本发明的电性连接装置的特征在于，具有：第1电极区域，其是在能够与第1线路基板的基板电极导通的第1凹部内填充液体金属得到的；第2电极区域，其是在能够与和第1线路基板相对的第2线路基板的基板电极导通的第2凹部内填充液体金属得到的；以及连接件，其使一端部与第1电极区域的液体金属接触，使另一端部与第2电极区域的液体金属接触，从而使第1电极区域与第2电极区域之间导通。
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公开(公告)号：CN111751584A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010216399.2
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 提供具有对被检查体的电极端子的低针压化和供给电流的最大化这两种特性的电触头及探针卡。本发明的电触头的特征在于，具有：接触部，其与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且弹性地支承所述接触部，由合成树脂材料形成。本发明的探针卡将检查装置和被检查体的电极端子之间电连接，该探针卡的特征在于，具有：探针基板，其具有与检查装置电连接的布线电路，在一个表面上具有与所述布线电路连接的多个基板电极；以及本发明的第1发明的多个电触头。
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公开(公告)号：CN111751585B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202010216400.1
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 能够跟随被检查体的热膨胀或热收缩来容易地确保各电触头的边缘裕度，提高测定精度，并且能够降低电路基板的翘曲以防止接触部的位置偏移。本发明的探针卡具备：电路形成基板，其具有与布线电路连接的多个基板电极；多个电触头，它们具有使被检查体的电极端子与所述基板电极之间电导通的通电部、和弹性地支承通电部的由合成树脂材料形成的基部；以及触头固定基板，其在与电路形成基板的各基板电极的位置对应的位置具有多个导通部，在一个表面上固定各电触头的基部而设置各电触头，使另一个表面与电路形成基板相对而设置。
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公开(公告)号：CN113544519A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201980093681.1
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种使线路基板的电极区域与连接件的接触面积比以往大而抑制接触电阻、能够实现稳定的电性连接性的电性连接装置。本发明的电性连接装置的特征在于，具有：第1电极区域，其是在能够与第1线路基板的基板电极导通的第1凹部内填充液体金属得到的；第2电极区域，其是在能够与和第1线路基板相对的第2线路基板的基板电极导通的第2凹部内填充液体金属得到的；以及连接件，其使一端部与第1电极区域的液体金属接触，使另一端部与第2电极区域的液体金属接触，从而使第1电极区域与第2电极区域之间导通。
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公开(公告)号：CN111751585A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010216400.1
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 能够跟随被检查体的热膨胀或热收缩来容易地确保各电触头的边缘裕度，提高测定精度，并且能够降低电路基板的翘曲以防止接触部的位置偏移。本发明的探针卡具备：电路形成基板，其具有与布线电路连接的多个基板电极；多个电触头，它们具有使被检查体的电极端子与所述基板电极之间电导通的通电部、和弹性地支承通电部的由合成树脂材料形成的基部；以及触头固定基板，其在与电路形成基板的各基板电极的位置对应的位置具有多个导通部，在一个表面上固定各电触头的基部而设置各电触头，使另一个表面与电路形成基板相对而设置。
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公开(公告)号：CN111751584B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202010216399.2
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 提供具有对被检查体的电极端子的低针压化和供给电流的最大化这两种特性的电触头及探针卡。本发明的电触头的特征在于，具有：接触部，其与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且弹性地支承所述接触部，由合成树脂材料形成。本发明的探针卡将检查装置和被检查体的电极端子之间电连接，该探针卡的特征在于，具有：探针基板，其具有与检查装置电连接的布线电路，在一个表面上具有与所述布线电路连接的多个基板电极；以及本发明的第1发明的多个电触头。
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公开(公告)号：CN111751586B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202010216412.4
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 本发明提供一种多针结构探针体及探针卡，能够应对半导体集成电路的电极端子之间的窄间距化。本发明的多针结构探针体的特征在于，具有：多个接触部，它们与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且支承所述多个接触部的每一个，由合成树脂材料形成，所述基部具有：安装部；以及多个负载部，它们分别在所述安装部的下部隔开间隔地设置，在沿长度方向延伸的臂部的顶端侧保持所述接触部，并弹性地支承所述接触部。
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公开(公告)号：CN111751586A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010216412.4
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 本发明提供一种多针结构探针体及探针卡，能够应对半导体集成电路的电极端子之间的窄间距化。本发明的多针结构探针体的特征在于，具有：多个接触部，它们与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且支承所述多个接触部的每一个，由合成树脂材料形成，所述基部具有：安装部；以及多个负载部，它们分别在所述安装部的下部隔开间隔地设置，在沿长度方向延伸的臂部的顶端侧保持所述接触部，并弹性地支承所述接触部。
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