公开(公告)号：CN101986207A

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：CN201010141360.5

申请日：2010-03-31

Applicant: 日本精工株式会社

Inventor： 永井新一郎 ,  軽石修作 ,  原田智纪 ,  川岛洋德 ,  林慎一郎 ,  岸田学

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03B27/32 ,  G03F7/7005 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70791 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7038 ,  G03F9/7088 ,  Y10T428/24802

Abstract: 提供一种曝光装置和曝光方法，该曝光装置和曝光方法即使在工件变形的情况下，也能够按照工件的被曝光区域，高精度地光刻光罩的图案。该曝光方法包括：使用对准相机(152)来检测工件(W)的对准标识和光罩(21)的对准标识的工序；根据用对准相机(152)检测出的两对准标识的偏差量，来计算光罩M和工件W的位置偏差量以及工件W的变形量的工序；根据计算出的位置偏差量，来调节工件W和光罩M的对准的工序；与对准调节工序同时或在各自的额定工时中，根据计算出的变形量，来修正反射来自光源(161)的曝光用光的光束的平面镜(166)的曲率的工序。

公开(公告)号：CN118575007A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202280084108.6

申请日：2022-11-30

Applicant: 日本精工株式会社

Inventor： 林慎一郎 ,  迫田裕成 ,  荒木康宏 ,  佐藤雅之 ,  岛崎聪 ,  高桥大树 ,  万雄介 ,  今井慎吾 ,  菊池文

IPC: F16C33/41 ,  F16C19/16

Abstract: 提供能够抑制转矩的变动的保持器和轴承装置。本公开的轴承装置具备在外周面设有外周轨道面的内圈、在内周面设有内周轨道面的外圈、配置在外周轨道面和内周轨道面之间的多个滚珠以及保持器。保持器具备配置在轴承装置的内圈和外圈之间且以内圈的轴心为中心在周向上等间隔地设置的多个柱部、和将柱部彼此连结的多个柱连结部。多个柱部之间形成供滚珠配置的兜孔。柱部具有朝向与轴心平行的轴向的一侧的端面。在端面设有向轴向的另一侧凹陷的凹部。