公开(公告)号：CN102731072B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201210088751.4

申请日：2012-03-29

申请人： 日本碍子株式会社

发明人： 木村拓二 ,  高桥贵博 ,  中西宏和

IPC分类号： H01L21/683 ,  C04B35/10 ,  C04B35/622

CPC分类号： C04B35/645 ,  B28B1/002 ,  B28B3/025 ,  B32B18/00 ,  C04B35/111 ,  C04B35/5626 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/63456 ,  C04B35/63488 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6023 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/721 ,  C04B2235/77 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/36 ,  H01L21/6833

摘要： 本发明提供一种静电卡盘的制法及静电卡盘，该静电卡盘的制法包含：(a)在将静电电极前体(24)可装卸地安装于内面的第1成型模(31)中，流入含有陶瓷粉体、溶剂、分散剂及胶凝剂的陶瓷料浆，使胶凝剂进行化学反应而使陶瓷料浆凝胶化后进行脱模，由此制作在第1陶瓷成型体(41)中埋入静电电极前体(24)的带埋入电极陶瓷成型体(41X)的工序；(b)制作第2陶瓷成型体(42)的工序；(c)使用带埋入电极陶瓷成型体(41X)和第2陶瓷成型体(42)来制作层叠煅烧体(50)，热压烧成该层叠煅烧体的工序。

公开(公告)号：CN104835770A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201510174096.8

申请日：2012-03-29

申请人： 日本碍子株式会社

发明人： 木村拓二 ,  高桥贵博 ,  中西宏和

IPC分类号： H01L21/683 ,  C04B35/624 ,  C04B35/10

摘要： 本发明提供一种静电卡盘，其是内置有静电电极的静电卡盘，在观察纵截面时，所述静电电极的端面为平面或膨胀面，且该膨胀面的上角、膨胀顶端和下角所连成的角度θ为160°≦θ＜180°。

公开(公告)号：CN102731072A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210088751.4

申请日：2012-03-29

申请人： 日本碍子株式会社

发明人： 木村拓二 ,  高桥贵博 ,  中西宏和

IPC分类号： C04B35/10 ,  C04B35/622 ,  H01L21/683

CPC分类号： C04B35/645 ,  B28B1/002 ,  B28B3/025 ,  B32B18/00 ,  C04B35/111 ,  C04B35/5626 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/63456 ,  C04B35/63488 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6023 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/721 ,  C04B2235/77 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/36 ,  H01L21/6833

摘要： 本发明提供一种静电卡盘的制法及静电卡盘，该静电卡盘的制法包含：(a)在将静电电极前体(24)可装卸地安装于内面的第1成型模(31)中，流入含有陶瓷粉体、溶剂、分散剂及胶凝剂的陶瓷料浆，使胶凝剂进行化学反应而使陶瓷料浆凝胶化后进行脱模，由此制作在第1陶瓷成型体(41)中埋入静电电极前体(24)的带埋入电极陶瓷成型体(41X)的工序；(b)制作第2陶瓷成型体(42)的工序；(c)使用带埋入电极陶瓷成型体(41X)和第2陶瓷成型体(42)来制作层叠煅烧体(50)，热压烧成该层叠煅烧体的工序。