公开(公告)号：CN111755375A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010218460.7

申请日：2020-03-25

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 峰庆太 ,  胁坂拓实

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种晶片载置装置。静电卡盘加热器(10)具备：在上表面具有晶片载置面(20a)并内置有加热电极(22)及静电电极(24)的陶瓷板(20)；和配置于陶瓷板(20)的与晶片载置面(20a)相反一侧的下表面(20b)并在内部设有制冷剂流路(50)的冷却板。制冷剂流路(50)具有以与晶片载置面(20a)平行的方式以一笔写成的要领设置的第一流路(52)和沿第一流路(52)以一笔写成的要领设置的第二流路(54)，第二流路(54)的出口(54o)位于第一流路(52)的入口(52i)侧，第二流路(54)的入口(54i)位于第一流路(52)的出口(52o)侧。

公开(公告)号：CN115472549A

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202210623340.4

申请日：2022-06-01

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 久野达也 ,  胁坂拓实

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/03

Abstract: 本发明提供一种晶片载置台，其能够非破坏性地进行埋设于陶瓷基板的第一电极和向该第一电极供电的第一供电端子的第一接合部的检查。静电卡盘加热器具备陶瓷基板、加热器电极、加热器供电端子、接合部以及静电电极。加热器电极埋设于陶瓷基板。加热器供电端子从陶瓷基板中的与晶片载置面相反侧的面朝向加热器电极插入。接合部将加热器电极与加热器供电端子接合。静电电极设置在晶片载置面与加热器电极之间。在陶瓷基板的内部且从加热器电极中的与接合部相反侧的位置到晶片载置面为止的直线状部分(P)由陶瓷基板的材料构成。