公开(公告)号：CN111837452A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202080001440.2

申请日：2020-02-04

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 曻和宏 ,  木村拓二 ,  沟口智久

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/18 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02

Abstract: 一种陶瓷加热器(10)，具有陶瓷板(20)。外周侧电阻发热体(26)设置在陶瓷板(20)的外周侧区域(Z2)。引线(24)从在陶瓷板(20)的中央部设置的一对端子(23、23)开始分别向着外周侧区域(Z2)延伸，且靠近外周侧区域(Z2)的部分为直线部。连接端子(25)是连接引线(24)和外周侧电阻发热体(26)的导电性构件，具有插入有引线(24)的直线部的第一孔和插入有外周侧电阻发热体(26)的端部的第二孔。

公开(公告)号：CN116768631A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202211703929.1

申请日：2022-12-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 服部亮誉 ,  上田晃司 ,  西尾仁志 ,  沟口智久

IPC: C04B35/58 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63 ,  C04B35/645 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及高电阻高耐腐蚀陶瓷材料及晶片载放台。所要解决的课题是，在高温下具有充分的耐腐蚀性、并且提高高温下的体积电阻率。本发明的高电阻高耐腐蚀陶瓷材料含有镁‑铝氮氧化物，碳含有率为0.005～0.275质量％。

公开(公告)号：CN111837452B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202080001440.2

申请日：2020-02-04

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 曻和宏 ,  木村拓二 ,  沟口智久

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/18 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02

Abstract: 一种陶瓷加热器(10)，具有陶瓷板(20)。外周侧电阻发热体(26)设置在陶瓷板(20)的外周侧区域(Z2)。引线(24)从在陶瓷板(20)的中央部设置的一对端子(23、23)开始分别向着外周侧区域(Z2)延伸，且靠近外周侧区域(Z2)的部分为直线部。连接端子(25)是连接引线(24)和外周侧电阻发热体(26)的导电性构件，具有插入有引线(24)的直线部的第一孔和插入有外周侧电阻发热体(26)的端部的第二孔。