-
公开(公告)号：CN116768631A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202211703929.1
申请日：2022-12-29
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/58 , C04B35/622 , C04B35/63 , C04B35/645 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及高电阻高耐腐蚀陶瓷材料及晶片载放台。所要解决的课题是，在高温下具有充分的耐腐蚀性、并且提高高温下的体积电阻率。本发明的高电阻高耐腐蚀陶瓷材料含有镁‑铝氮氧化物，碳含有率为0.005～0.275质量％。
Search Results
1
records
(took 0.016 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
