复合基板的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108028312B

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN201680002597.0

    申请日:2016-09-14

    Abstract: 本发明的复合基板的制造方法包括以下工序:(a)对直径2英寸以上的贴合基板的压电基板侧进行镜面研磨直至所述压电基板的厚度为20μm以下,该贴合基板是将压电基板和支撑基板接合而得到的;(b)进行离子束加工,加工成:所述压电基板的外周部的厚度比内周部厚且所述压电基板的内周部的厚度的最大值与最小值的差值在整个平面中为100nm以下;(c)使用直径5mm~30mm的研磨垫,使所述研磨垫带来的按压力保持恒定,并且,使所述研磨垫边旋转边移动,从而进行CMP研磨,除去通过所述离子束加工而产生的变质层的至少一部分,使所述压电基板的整个表面变得平坦。

    清洗工具
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1891356A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610093549.5

    申请日:2006-06-26

    CPC classification number: B08B3/047 B08B3/12 B08B11/00

    Abstract: 一种具有底盘(10)和盖部件(20)的清洗工具。底盘有用于单独容纳待清洗物体D的空间。盖部件有框架(21),和线状部件(22)和(23)。线状部件(22)沿第一方向张紧于框架,以便形成限定空间顶部的第一平面部分。线状部件(23)沿第二方向张紧于框架,以便形成位于第一平面部分之上的第二平面部分。当线状部件(22)在清洗期间将要振动时,线状部件(23)限制这种振动。此外,各线状部件可分别在各自的平面部分自由移动。

    研磨加工用夹具组及多个被研磨体的研磨方法

    公开(公告)号:CN1772433A

    公开(公告)日:2006-05-17

    申请号:CN200510114309.4

    申请日:2005-10-20

    CPC classification number: B24B7/162 Y10S269/90 Y10S451/914

    Abstract: 本发明提供一种研磨加工用夹具组及多个被研磨体的研磨方法,其不会损伤被研磨体、不会改变开始到结束期间的多个被研磨体的配置图案。研磨加工用夹具组用在将多个被研磨体配置在研磨夹具上,在被研磨体的研磨加工结束之后直到使被研磨体从研磨夹具脱离的一系列工序中,且由多个夹具单元组成,包括:配置用小型托架;分割托架,其可在收容配置用小型托架的状态下将被研磨体从起始托架上移送到配置用小型托架上;分割板,其可将载放在配置用小型托架上的被研磨体以转印状态配置到研磨夹具的表面上;脱离用小型托架,其可在被研磨体的研磨加工结束后,将通过规定的剥离处理从研磨夹具的表面上脱离的被研磨体以转印状态和分割成局部图案的状态移送。

    原子束源
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106664790B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201680002242.1

    申请日:2016-08-18

    Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

    蜂窝结构体成形用模头及其制造方法

    公开(公告)号:CN104364062A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201380029390.9

    申请日:2013-06-03

    CPC classification number: B28B3/269 B23P15/243

    Abstract: 一种蜂窝结构体成形用模头(1),具备有由铁等形成的第2板状部(3)和碳化钨基硬质合金制的第1板状部(7);第2板状部(3)具有第2接合面(6),形成有用于导入成形原料的内孔(5);第1板状部(7)具有第1接合面(10),形成有与内孔(5)连通的用于使成形原料成形的狭缝(9),同时,连通内孔(5)及狭缝(9)的孔部(11)形成于第1接合面(10)一侧;第1板状部(7)配设在第2板状部(3)上,第1接合面(10)与第2接合面(6)相接;第1接合面(10)上的孔部(11)的开口部直径与第2接合面(6)上的内孔(5)的开口部直径的大小不同;第1接合面(10)上的孔部(11)的开口部(11a)配置在第2接合面(6)上的内孔(5)的开口部(5a)的内侧。提供可以抑制蜂窝结构体发生变形的蜂窝结构体成形用模头。

    压电/电致伸缩器件
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101065854A

    公开(公告)日:2007-10-31

    申请号:CN200580040231.4

    申请日:2005-10-17

    Abstract: 一种压电/电致伸缩器件,具有固定部、由固定部支撑的薄板部以及通过交替层压多个电极和多个压电/电致伸缩层而形成的压电/电致伸缩元件。压电/电致伸缩器件通过切割后来构成下述薄板部的薄板体和包括压电/电致伸缩层的层压主体,且随后对所述切割平面(侧端面)进行规定的特定处理(例如热处理)来制造。这样,压电/电致伸缩元件的侧端面的实际表面积与压电/电致伸缩元件的侧端面的正投影面积的比率为四或以下,并且在侧端面上沉积的水分被抑制到基本上不产生漏电或离子迁移的程度。结果,可提供高耐久的压电/电致伸缩器件。

    钢丝锯加工方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1919566A

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN200610101393.0

    申请日:2006-07-18

    Abstract: 本发明提供一种钢丝锯加工方法,其能够减小切割中的切割用钢丝的最大挠曲量的变化程度并得到被加工物良好、平坦的切割面。应用了该方法的钢丝锯装置具备撑架在一对滚轮(11、12)之间并使其沿撑架方向行走的多根切割用钢丝(W)和放置被加工物(20)的工作台(14),通过使工作台(14)上升将被加工物(20)按压在行走的切割用钢丝(W)上而将被加工物(20)切割。在该钢丝锯加工方法中,以被加工物(20)的中央位置在撑架方向偏离切割用钢丝(W)的中央位置的方式将被加工物(20)放置在工作台(14)上。这样,切割用钢丝(W)的最大挠曲量减小,其结果,切割中的切割用钢丝的最大挠曲量的变化程度也减小。

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