压电/电致伸缩器件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101065854A

    公开(公告)日:2007-10-31

    申请号:CN200580040231.4

    申请日:2005-10-17

    IPC分类号: H01L41/09 H01L41/22

    摘要: 一种压电/电致伸缩器件,具有固定部、由固定部支撑的薄板部以及通过交替层压多个电极和多个压电/电致伸缩层而形成的压电/电致伸缩元件。压电/电致伸缩器件通过切割后来构成下述薄板部的薄板体和包括压电/电致伸缩层的层压主体,且随后对所述切割平面(侧端面)进行规定的特定处理(例如热处理)来制造。这样,压电/电致伸缩元件的侧端面的实际表面积与压电/电致伸缩元件的侧端面的正投影面积的比率为四或以下,并且在侧端面上沉积的水分被抑制到基本上不产生漏电或离子迁移的程度。结果,可提供高耐久的压电/电致伸缩器件。