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公开(公告)号：CN111547508A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010080599.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。
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公开(公告)号：CN111554600B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202010080600.9
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。在该基板搬运装置(1)中，在盒(3)被放置在第一放置部(5)及第二放置部(6)上之前，通过升降机构(7、8)使由传感器(14)检测到的第一放置部及由传感器(17)检测到的第二放置部一起下降相同的量，直到由传感器检测不到第一放置部(5)并且由传感器(17)检测不到第二放置部，并且，之后，通过升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由传感器检测到第一放置部的定时和由传感器检测到第二放置部的定时的偏差。
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公开(公告)号：CN108100666A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201710979680.X
申请日：2017-10-19
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor： 近藤仁
CPC classification number: B65G49/064 , B65G43/00 , B65G49/068 , G02F1/1303
Abstract: 一种基板供给装置的控制方法，即使在向规定处理线供给玻璃基板的基板供给装置所接受的钢丝盒之中包括不需要由处理线进行处理的玻璃基板的情况下，也能减小玻璃基板的处理工序中的时间损失。当将收容于钢丝盒(4)的多块玻璃基板(2)中的、不需要由处理线进行处理的玻璃基板(2)设为第一玻璃基板(2A)，将收容于钢丝盒(4)的多块玻璃基板(2)中的、第一玻璃基板(2A)之外的、需要由处理线进行处理的玻璃基板(2)设为第二玻璃基板(2B)时，在上述基板供给装置中，在将配置得比第二玻璃基板(2B)靠下侧的第一玻璃基板(2A)收容于钢丝盒(14)之后，将第二玻璃基板(2B)供给至处理线。
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公开(公告)号：CN111547508B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202010080599.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。
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公开(公告)号：CN111554600A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010080600.9
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。在该基板搬运装置(1)中，在盒(3)被放置在第一放置部(5)及第二放置部(6)上之前，通过升降机构(7、8)使由传感器(14)检测到的第一放置部及由传感器(17)检测到的第二放置部一起下降相同的量，直到由传感器检测不到第一放置部(5)并且由传感器(17)检测不到第二放置部，并且，之后，通过升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由传感器检测到第一放置部的定时和由传感器检测到第二放置部的定时的偏差。
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