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公开(公告)号：CN114275538B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202111170156.0
申请日：2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种搬运系统，其即使将需要处理的第一基板和不需要处理的第二基板以混在一起的状态进行搬运，也能缩短生产节拍时间。搬运系统(1)具有：第一载置部(4)，其通过第一机器人(3)载置由处理部(10)处理前的第一基板(100A)；搬运滑架(5)，其沿第一方向搬运从第一机器人接收的第二基板(100B)；以及带行走功能的第二机器人(6)，其使载置在第一载置部的第一基板移动至处理部，并且将由处理部处理后的已处理过的第一基板载置到位于X1方向的第二载置部(7)。第二机器人沿X1方向行走，使已处理过的第一基板移动至第二载置部，并且从搬运滑架接收由搬运滑架沿第一方向搬运的第二基板，并将其载置到第二载置部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111554600B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202010080600.9
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。在该基板搬运装置(1)中，在盒(3)被放置在第一放置部(5)及第二放置部(6)上之前，通过升降机构(7、8)使由传感器(14)检测到的第一放置部及由传感器(17)检测到的第二放置部一起下降相同的量，直到由传感器检测不到第一放置部(5)并且由传感器(17)检测不到第二放置部，并且，之后，通过升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由传感器检测到第一放置部的定时和由传感器检测到第二放置部的定时的偏差。
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公开(公告)号：CN111547508B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202010080599.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。
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公开(公告)号：CN111554600A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010080600.9
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。在该基板搬运装置(1)中，在盒(3)被放置在第一放置部(5)及第二放置部(6)上之前，通过升降机构(7、8)使由传感器(14)检测到的第一放置部及由传感器(17)检测到的第二放置部一起下降相同的量，直到由传感器检测不到第一放置部(5)并且由传感器(17)检测不到第二放置部，并且，之后，通过升降机构使第一放置部及第二放置部上升，确认由传感器检测到第一放置部的定时和由传感器检测到第二放置部的定时的偏差。
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公开(公告)号：CN114275538A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111170156.0
申请日：2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种搬运系统，其即使将需要处理的第一基板和不需要处理的第二基板以混在一起的状态进行搬运，也能缩短生产节拍时间。搬运系统(1)具有：第一载置部(4)，其通过第一机器人(3)载置由处理部(10)处理前的第一基板(100A)；搬运滑架(5)，其沿第一方向搬运从第一机器人接收的第二基板(100B)；以及带行走功能的第二机器人(6)，其使载置在第一载置部的第一基板移动至处理部，并且将由处理部处理后的已处理过的第一基板载置到位于X1方向的第二载置部(7)。第二机器人沿X1方向行走，使已处理过的第一基板移动至第二载置部，并且从搬运滑架接收由搬运滑架沿第一方向搬运的第二基板，并将其载置到第二载置部。
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公开(公告)号：CN111547508A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010080599.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。
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