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发明公开
基板输送装置审中-实审

公开(公告)号：CN111725117A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010166501.2

申请日：2020-03-11

Applicant: 日本电产三协株式会社

Inventor： 佐藤史朗 , 荒井正 , 仓田茂 , 小松多津次

IPC: H01L21/677 , H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，其用于输送基板，即使在使基板转动而改变基板的朝向或者进行基板的位置校正的情况下，也能够缩短组装并使用基板输送装置的制造线的循环时间。该基板输送装置具备：载置基板(2)的多个支承销(7)；保持多个支承销(7)的销保持部件(8)；使销保持部件(8)在X方向上移动以输送基板(2)的第一移动机构(9)；使销保持部件(8)在Y方向上移动的第二移动机构；以及使销保持部件(8)以上下方向为转动的轴方向转动的转动机构(11)。第一移动机构(9)使转动机构(11)与销保持部件(8)一起在X方向上移动。

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