公开(公告)号：CN105514014A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510647044.8

申请日：2015-10-08

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 奥川圭介 ,  篠崎洋辅 ,  野村俊寿

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H01L2221/683

Abstract: 本发明提供能通过简化构造来降低主体基板上的特异点的数量和面积，且能通过减少工时等实现制造的容易化和制造效率的提高的静电卡盘。静电卡盘包括：主体基板(11)，其由陶瓷形成，且具有基板正面和基板背面；吸附用电极，其设于主体基板；金属基座(12)，其具有基座正面和基座背面，且配置为基座正面朝向主体基板的基板背面侧；内部通孔(51)，其以贯穿金属基座的基座正面与基座背面之间的方式形成。在主体基板上设有多个加热区域，在该多个加热区域中分别配置有加热电极。在内部通孔内配置有与各加热区域的加热电极电连接的多个加热电极端子(53)。配置在内部通孔内的多个加热电极端子与配置在内部通孔内的连接构件(6)电连接。

公开(公告)号：CN105514014B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201510647044.8

申请日：2015-10-08

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 奥川圭介 ,  篠崎洋辅 ,  野村俊寿

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明提供能通过简化构造来降低主体基板上的特异点的数量和面积，且能通过减少工时等实现制造的容易化和制造效率的提高的静电卡盘。静电卡盘包括：主体基板(11)，其由陶瓷形成，且具有基板正面和基板背面；吸附用电极，其设于主体基板；金属基座(12)，其具有基座正面和基座背面，且配置为基座正面朝向主体基板的基板背面侧；内部通孔(51)，其以贯穿金属基座的基座正面与基座背面之间的方式形成。在主体基板上设有多个加热区域，在该多个加热区域中分别配置有加热电极。在内部通孔内配置有与各加热区域的加热电极电连接的多个加热电极端子(53)。配置在内部通孔内的多个加热电极端子与配置在内部通孔内的连接构件(6)电连接。