公开(公告)号：CN110176378A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201910125241.1

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 铃木浩之

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/302 ,  H01J37/305 ,  G01N23/2251

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质，抑制载置有试样的试样保持器与试样室的内部构造物之间的干涉。具有：载台，支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，驱动载台；试样室，收容载台；聚焦离子束镜筒，对试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，对试样照射电子束；检测器，检测由于照射聚焦离子束或电子束而从试样产生的二次离子或二次电子；读取部，读取试样保持器上附带的识别信息；存储部，存储表示识别信息与试样保持器的形状的对应关系的保持器形状信息、以及试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；载台驱动范围限制部，根据试样保持器的形状和内部构造物的形状，限制支承试样保持器的载台的驱动范围。

公开(公告)号：CN110476220A

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201880021206.9

申请日：2018-03-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 藤井利昭 ,  富松聪 ,  铃木浩之

IPC: H01J37/20

Abstract: 带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；倾斜台(64A)，其具有能够对试样进行保持的第1试样保持部，将第1试样保持部保持为能够绕轴线(S1)进行转动；倾斜台(64B)，其具有能够对试样进行保持的第2试样保持部，将第2试样保持部保持为能够绕与轴线(S1)平行的轴线(S2)进行转动；以及驱动力提供部，其向倾斜台(64A、64B)提供使倾斜台(64A、64B)连动地转动的驱动力。

公开(公告)号：CN110176378B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN201910125241.1

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 铃木浩之

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/302 ,  H01J37/305 ,  G01N23/2251

Abstract: 本发明提供带电粒子束装置、载台驱动范围限制方法和记录介质，抑制载置有试样的试样保持器与试样室的内部构造物之间的干涉。具有：载台，支承载置有试样的试样保持器；载台驱动机构，驱动载台；试样室，收容载台；聚焦离子束镜筒，对试样照射聚焦离子束；电子束镜筒，对试样照射电子束；检测器，检测由于照射聚焦离子束或电子束而从试样产生的二次离子或二次电子；读取部，读取试样保持器上附带的识别信息；存储部，存储表示识别信息与试样保持器的形状的对应关系的保持器形状信息、以及试样室的内部构造物的形状信息即设计信息；载台驱动范围限制部，根据试样保持器的形状和内部构造物的形状，限制支承试样保持器的载台的驱动范围。

公开(公告)号：CN110176379B

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN201910126745.5

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 山本洋 ,  酉川翔太 ,  铃木秀和 ,  铃木浩之 ,  冈部卫 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。

公开(公告)号：CN110176379A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201910126745.5

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 山本洋 ,  酉川翔太 ,  铃木秀和 ,  铃木浩之 ,  冈部卫 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。

公开(公告)号：CN304821806S

公开(公告)日：2018-09-18

申请号：CN201830036095.1

申请日：2018-01-25

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Designer： 增田蓝 ,  能田弘行 ,  铃木浩之 ,  大塚靖孝

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：试料加工及观察机。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于将本产品与观察试料的放大图像的显示装置连接使用，可进行试料加工及试料观察（如放大观察）。
3．本外观设计产品的设计要点：如立体图所示内容，最能体现本外观设计产品的设计要点。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
5．在示出各部名称参考图中，A‑聚焦离子光束镜筒，B‑电子枪外盖，C‑窗，D‑紧急按钮。
其中，斜线所示的C部为透明。