公开(公告)号：CN105388048B

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201510542307.9

申请日：2015-08-28

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 富松聪 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28

Abstract: 本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。

公开(公告)号：CN106461516A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580030690.8

申请日：2015-06-29

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 上本敦 ,  麻畑达也 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

CPC classification number: G01N1/44 ,  G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。

公开(公告)号：CN110176379B

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN201910126745.5

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 山本洋 ,  酉川翔太 ,  铃木秀和 ,  铃木浩之 ,  冈部卫 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。

公开(公告)号：CN110176379A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201910126745.5

申请日：2019-02-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 山本洋 ,  酉川翔太 ,  铃木秀和 ,  铃木浩之 ,  冈部卫 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法。提供如下的带电粒子束装置和使用该带电粒子束装置的试样加工观察方法，该带电粒子束装置具备镓离子束镜筒、具有半浸没透镜型的物镜的电子束镜筒和气体离子束镜筒，能够在短时间内高效地进行试样的精加工和试样加工面的高精度的SEM像取得。带电粒子束装置的特征在于，所述带电粒子束装置至少具有：镓离子束镜筒，其朝向试样照射镓离子束，形成所述试样的截面；电子束镜筒，其具有半浸没透镜型的物镜，朝向试样照射电子束；以及气体离子束镜筒，其朝向所述试样的截面照射气体离子束，进行所述试样的截面的精加工，所述气体离子束具有比所述试样的截面的最大直径大的波束直径。

公开(公告)号：CN106461516B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201580030690.8

申请日：2015-06-29

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 上本敦 ,  麻畑达也 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。

公开(公告)号：CN105388048A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510542307.9

申请日：2015-08-28

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 富松聪 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28

Abstract: 本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。