公开(公告)号：CN111105974A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201910886762.9

申请日：2019-09-19

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 大庭弘 ,  杉山安彦 ,  大塚靖孝

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置。简便地计算引出电压的设定值。带电粒子束装置具有：气体导入室，其被导入原料气体；等离子体生成室，其与气体导入室连接；线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；引出电极，其对从等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；电流测定部，其测定从等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；引出电压计算部，其根据相对于引出电压的变化的由电流测定部测定的等离子体电流的大小的变化，计算引出电压的设定值即引出电压设定值；以及控制部，其根据引出电压计算部计算的引出电压设定值对引出电压进行控制。

公开(公告)号：CN111105974B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN201910886762.9

申请日：2019-09-19

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 大庭弘 ,  杉山安彦 ,  大塚靖孝

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/244

Abstract: 提供带电粒子束装置。简便地计算引出电压的设定值。带电粒子束装置具有：气体导入室，其被导入原料气体；等离子体生成室，其与气体导入室连接；线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；引出电极，其对从等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；电流测定部，其测定从等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；引出电压计算部，其根据相对于引出电压的变化的由电流测定部测定的等离子体电流的大小的变化，计算引出电压的设定值即引出电压设定值；以及控制部，其根据引出电压计算部计算的引出电压设定值对引出电压进行控制。

公开(公告)号：CN304821806S

公开(公告)日：2018-09-18

申请号：CN201830036095.1

申请日：2018-01-25

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Designer： 增田蓝 ,  能田弘行 ,  铃木浩之 ,  大塚靖孝

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：试料加工及观察机。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于将本产品与观察试料的放大图像的显示装置连接使用，可进行试料加工及试料观察（如放大观察）。
3．本外观设计产品的设计要点：如立体图所示内容，最能体现本外观设计产品的设计要点。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
5．在示出各部名称参考图中，A‑聚焦离子光束镜筒，B‑电子枪外盖，C‑窗，D‑紧急按钮。
其中，斜线所示的C部为透明。