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    带电粒子束装置
    1.
    发明授权
    带电粒子束装置 有权

    公开(公告)号：CN108666192B

    公开(公告)日：2022-05-03

    申请号：CN201810233827.5

    申请日：2018-03-21

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 岩堀敏行

    IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20

    Abstract: 本发明的提供带电粒子束装置，其能够容易执行使入射到试样的电子束减速的电极与试样的适当且高精度的位置对齐。该带电粒子束装置(10)具有试样室(110)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)、以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有电极部件(45)。该电极部件(45)设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位，并形成有使电子束通过的电极贯通孔。带电粒子束装置(10)具有使电极部件(45)移位的驱动机构(42)、对电极部件(45)施加负电压的电源(20)、以及对试样室(11)和驱动机构(42)与电极部件(45)进行电绝缘的绝缘部件(43)。

    带电粒子束装置
    4.
    发明授权
    带电粒子束装置 有权

    公开(公告)号：CN108666193B

    公开(公告)日：2022-09-20

    申请号：CN201810229218.2

    申请日：2018-03-20

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 岩堀敏行

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/244

    Abstract: 本发明的目的在于提供带电粒子束装置，其能够防止起因于人为的错误等而导致试样与电子束镜筒接触。该带电粒子束装置(10)具有试样室(11)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有移位部件(45)，该移位部件(45)具有：开闭部，其被设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位；以及接触部，其设置于在试样载台(31)进行动作时能够比出射端部先与试样(S)接触的接触位置。带电粒子束装置(10)具有使移位部件(45)移位的驱动机构(42)和检测有无试样(S)与接触部的接触的导通传感器(24)。

    试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置
    5.
    发明授权
    试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置 有权

    公开(公告)号：CN108666194B

    公开(公告)日：2022-03-25

    申请号：CN201810244900.9

    申请日：2018-03-23

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 岩堀敏行

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

    Abstract: 本发明提供试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置，其能够在确保用于在多个不同的带电粒子束装置之间移置试样的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。带电粒子束装置(10)具有：支架(13)，其可拆下地固定保持试样(S)的试样保持器具(12)；以及试样台(14)，其将支架(13)固定在试样室(11)的内部。试样保持器具(12)具有：试样保持部件，其保持试样(S)；支承台，其支承试样保持部件；以及夹具，其安装在支承台上配置有试样保持部件的位置。

    试样保持架和带电粒子束装置
    6.
    发明公开
    试样保持架和带电粒子束装置 有权

    公开(公告)号：CN112563102A

    公开(公告)日：2021-03-26

    申请号：CN202011012007.7

    申请日：2020-09-23

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 岩堀敏行

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/30

    Abstract: 提供试样保持架和带电粒子束装置，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架(19)具有基础部(41)、试样搭载部(42)、旋转引导部(43)、冷却载台(46)、连接部件(47)、第1支承部和固定引导部(48)。基础部(41)固定于由载台驱动机构(13)旋转驱动的载台(12)。旋转引导部(43)引导基础部(41)和试样搭载部(42)的同步旋转。冷却载台(46)对试样(S)进行冷却。连接部件(47)与冷却载台(46)连接。第1支承部支承由载台(12)旋转驱动的基础部(41)。固定引导部(48)经由第1支承部而与基础部(41)连接，并且，独立于基础部(41)而引导连接部件(47)的固定。

    试样运送机构和真空装置
    7.
    发明公开
    试样运送机构和真空装置 无效

    公开(公告)号：CN105836403A

    公开(公告)日：2016-08-10

    申请号：CN201610051728.6

    申请日：2016-01-26

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 荷田昌克 ,  岩堀敏行

    IPC: B65G35/00

    CPC classification number: G01N1/14 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31745 ,  B65G35/00

    Abstract: 本发明提供试样运送机构和真空装置。该试样运送机构可以在小的空间内容易进行试样运送棒的收纳动作。该试样运送机构(10)具有：试样运送棒(11)，其在试样室和预备试样室(4a)内沿着预定方向运送试样；支撑体，其支撑试样运送棒(11)；壳体(31)，其以能够绕与左右方向垂直的旋转轴(P)旋转的方式支撑所述支撑体(21)；以及第3O形环(36)，其配置在支撑体(21)与壳体(31)之间，对试样室和预备试样室(4a)进行密封。试样运送棒(11)在能够运送试样的使用状态与通过支撑体(21)的旋转从使用状态移动到沿着上下方向的位置的收纳状态之间能够移动。

    聚焦离子束装置
    9.
    发明公开
    聚焦离子束装置 有权

    公开(公告)号：CN107204268A

    公开(公告)日：2017-09-26

    申请号：CN201710160053.3

    申请日：2017-03-17

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 大西毅 ,  岩堀敏行

    IPC: H01J37/20

    Abstract: 本发明涉及聚焦离子束装置。提供一种能够以简易的结构使观察对象的微小样品片在聚焦离子束装置与样品观察装置之间容易地移动的聚焦离子束装置。具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。

    试样保持架和带电粒子束装置
    10.
    发明授权
    试样保持架和带电粒子束装置 有权

    公开(公告)号：CN112563102B

    公开(公告)日：2025-04-04

    申请号：CN202011012007.7

    申请日：2020-09-23

    Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

    Inventor： 岩堀敏行

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/30

    Abstract: 提供试样保持架和带电粒子束装置，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架(19)具有基础部(41)、试样搭载部(42)、旋转引导部(43)、冷却载台(46)、连接部件(47)、第1支承部和固定引导部(48)。基础部(41)固定于由载台驱动机构(13)旋转驱动的载台(12)。旋转引导部(43)引导基础部(41)和试样搭载部(42)的同步旋转。冷却载台(46)对试样(S)进行冷却。连接部件(47)与冷却载台(46)连接。第1支承部支承由载台(12)旋转驱动的基础部(41)。固定引导部(48)经由第1支承部而与基础部(41)连接，并且，独立于基础部(41)而引导连接部件(47)的固定。

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