公开(公告)号：CN109516106B

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201711143720.3

申请日：2017-11-17

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 丹羽雄一 ,  西村一平 ,  小野田正敏 ,  立道润一

IPC: B65G35/00 ,  B65G47/24

Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。

公开(公告)号：CN108573842A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201711143287.3

申请日：2017-11-17

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 西村一平 ,  丹羽雄一 ,  小野田正敏 ,  立道润一

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。

公开(公告)号：CN119675378A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411104317.X

申请日：2024-08-13

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 丹羽雄一 ,  小野田正敏 ,  市南幸哉 ,  久田晋也 ,  桥野义和

IPC: H02K37/24 ,  H02K7/14 ,  H02K7/10 ,  H02K7/116 ,  H02K7/06 ,  H02P8/00 ,  H02P8/24 ,  H02P8/30

Abstract: 本发明涉及一种驱动装置及真空装置，其可较熟知更缩短移动体自开始既定的移动动作起至停止为止所需要的时间。使用在真空装置(1)的驱动装置(10A)具备连接于移动体(3A的驱动构件(14A)、步进马达(11)、动力传递单元(20A)、控制步进马达(11)的控制单元(13)及将驱动构件(14A)的停止位置信息传送至控制单元(13)的编码器(18A)。控制单元(13)根据停止位置信息而进行变更所设定的驱动脉冲数的脉冲数变更处理。

公开(公告)号：CN115910730A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211020205.7

申请日：2022-08-24

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 西村一平 ,  小野田正敏 ,  丹羽雄一

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/02 ,  B65G47/24 ,  B65G35/00

Abstract: 本发明涉及离子源移动装置及离子植入装置,目的在于能够令离子源平稳地升降，使对装置本体装卸离子源的作业的作业性提升。本发明的离子源移动装置是能对于要以在第一水平方向与装置本体对置的方式固定至装置本体且具有腔室的离子源，能够使该离子源以一边使离子源的重心升降并一边使相对于装置本体的倾斜度变化的方式移动；该离子源移动装置构成为具备：支持构件，能支持固定在腔室的外侧的第一被支持构件；可动构件，连结在支持构件；及升降机构，能一边限制可动构件往与既定的第二方向交叉的方向移动，并一边使可动构件沿第二方向升降移动。

公开(公告)号：CN108573842B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201711143287.3

申请日：2017-11-17

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 西村一平 ,  丹羽雄一 ,  小野田正敏 ,  立道润一

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。

公开(公告)号：CN109516106A

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201711143720.3

申请日：2017-11-17

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 丹羽雄一 ,  西村一平 ,  小野田正敏 ,  立道润一

IPC: B65G35/00 ,  B65G47/24

Abstract: 本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。