公开(公告)号：CN101360990A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200780001727.X

申请日：2007-01-10

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 小林孝正 ,  萩原陆宏 ,  矢野祐树 ,  自然浩次

IPC: G01N21/896 ,  G01M11/00 ,  G02B5/30

CPC classification number: G01N21/8422 ,  G01N21/21 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明在使用检查用偏光滤光器或检查用相位差滤光器对具有偏振镜的层叠薄膜进行缺陷检查时，按照适当的顺序配置应该在拍摄光程中配置的构件。提供层叠有偏振片(1)和光学补偿层的层叠薄膜(11)的缺陷检测方法，包括：通过配置在层叠薄膜(11)的薄膜面的偏振片叠层侧的光源照射光的工序、通过配置在薄膜面的光学补偿层侧的摄像部(12)对层叠薄膜(11)的透过光像进行拍摄的工序、和根据由摄像部(12)拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜(11)的缺陷进行检测的缺陷检测工序，通过位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且与摄像部(13)邻接配置的检查用滤光器(15)、和位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且配置在检查用偏光滤光器(15)和层叠薄膜(11)之间的检查用相位差滤光器(16)，利用摄像部(12)进行摄像。

公开(公告)号：CN101360990B

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN200780001727.X

申请日：2007-01-10

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 小林孝正 ,  萩原陆宏 ,  矢野祐树 ,  自然浩次

IPC: G01N21/896 ,  G01M11/00 ,  G02B5/30

CPC classification number: G01N21/8422 ,  G01N21/21 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明在使用检查用偏光滤光器或检查用相位差滤光器对具有偏振镜的层叠薄膜进行缺陷检查时，按照适当的顺序配置应该在拍摄光程中配置的构件。提供层叠有偏振片(1)和光学补偿层的层叠薄膜(11)的缺陷检测方法，包括：通过配置在层叠薄膜(11)的薄膜面的偏振片叠层侧的光源照射光的工序、通过配置在薄膜面的光学补偿层侧的摄像部(12)对层叠薄膜(11)的透过光像进行拍摄的工序、和根据由摄像部(12)拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜(11)的缺陷进行检测的缺陷检测工序，通过位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且与摄像部(13)邻接配置的检查用滤光器(15)、和位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且配置在检查用偏光滤光器(15)和层叠薄膜(11)之间的检查用相位差滤光器(16)，利用摄像部(12)进行摄像。