公开(公告)号：CN103488063B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201210190822.1

申请日：2012-06-11

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 郭梅寒 ,  张新伟 ,  周国平 ,  夏长奉

IPC: G03F9/00 ,  H01L23/544 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L23/544 ,  G03F9/708 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54493 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种对位标记及其制作方法，该对位标记采用各向异性刻蚀技术制作形成，由于各向异性刻蚀在晶圆不同晶面上的刻蚀速率不一致，可以在晶圆上刻蚀出特定的晶面。依据该特征形成的V型槽，由于两个槽面都是具有特定晶向的晶面，所以其所夹形成的槽脊线也必定准直于晶圆晶向。因此本发明的对位标记可以避免晶圆制作过程引入的对位误差，提高后续对位工艺的精确度和准确性。

公开(公告)号：CN103488063A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201210190822.1

申请日：2012-06-11

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 郭梅寒 ,  张新伟 ,  周国平 ,  夏长奉

IPC: G03F9/00 ,  H01L23/544 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L23/544 ,  G03F9/708 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54493 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种对位标记及其制作方法，该对位标记采用各向异性刻蚀技术制作形成，由于各向异性刻蚀在晶圆不同晶面上的刻蚀速率不一致，可以在晶圆上刻蚀出特定的晶面。依据该特征形成的V型槽，由于两个槽面都是具有特定晶向的晶面，所以其所夹形成的槽脊线也必定准直于晶圆晶向。因此本发明的对位标记可以避免晶圆制作过程引入的对位误差，提高后续对位工艺的精确度和准确性。

公开(公告)号：CN103728467B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201210391609.7

申请日：2012-10-16

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 郭梅寒 ,  张新伟 ,  夏长奉 ,  苏巍

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B7/02 ,  G01P2015/0837 ,  H01G5/16 ,  H02N1/08

Abstract: 本发明提供一种平行板电容器。该电容器包括第一极板和与第一极板相对设置的第二极板，其中，该平行板电容器还包括在形成所述第一极板的基底上设置的至少一对敏感单元，所述敏感单元包括敏感元件和将敏感元件连接到所述第一极板的元件连接臂；设置在所述第二极板所在的基底上的锚定支座，其通过悬臂梁连接到所述元件连接臂；其中，每个元件连接臂与相对于其对称的至少两个锚定支座连接。该平板电容器更容易受到外界因素影响，从而更易产生电容的变化。

公开(公告)号：CN103728467A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201210391609.7

申请日：2012-10-16

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 郭梅寒 ,  张新伟 ,  夏长奉 ,  苏巍

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B7/02 ,  G01P2015/0837 ,  H01G5/16 ,  H02N1/08

Abstract: 本发明提供一种平行板电容器。该电容器包括第一极板和与第一极板相对设置的第二极板，其中，该平行板电容器还包括在形成所述第一极板的基底上设置的至少一对敏感单元，所述敏感单元包括敏感元件和将敏感元件连接到所述第一极板的元件连接臂；设置在所述第二极板所在的基底上的锚定支座，其通过悬臂梁连接到所述元件连接臂；其中，每个元件连接臂与相对于其对称的至少两个锚定支座连接。该平板电容器更容易受到外界因素影响，从而更易产生电容的变化。