-
公开(公告)号:CN1046318C
公开(公告)日:1999-11-10
申请号:CN93116412.5
申请日:1993-09-04
申请人: 施乐公司
IPC分类号: C23C14/24
CPC分类号: C23C14/505 , C23C14/54
摘要: 一种辉光放电的装置包括:一个细长的导电辉光条形电极;将电势加到辉光条形电极上从而产生离子的装置;产生从辉光条形电极流向第二电极的离子流的装置;和一个挡管,安置得使其部分挡住辉光条形电极与第二电极之间的离子流;所述挡管有许多孔眼,离子即通过该孔眼在辉光条形电极与第二电极之间流通;各孔眼相应的闸板可起码部分地挡住离子流通过各孔眼,各闸板能单独地移到多个位置,以便调节通过各孔眼的离子流。
-
公开(公告)号:CN1101991A
公开(公告)日:1995-04-26
申请号:CN93116412.5
申请日:1993-09-04
申请人: 施乐公司
CPC分类号: C23C14/505 , C23C14/54
摘要: 一种辉光放电的装置包括:一个细长的导电辉光条形电极;将电势加到辉光条形电极上从而产生离子的装置;产生从辉光条形电极流向第二电极的离子流的装置;和一个挡管,安置得使其部分挡住辉光条形电极与第二电极之间的离子流;所述挡管有许多孔眼,离子即通过该孔眼在辉光条形电极与第二电极之间流通;各孔眼相应的闸板可起码部分地挡住离子流通过各孔眼,各闸板能单独地移到多个位置,以便调节通过各孔眼的离子流。
-