-
公开(公告)号：CN1978167B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200610159293.3
申请日：2003-06-10
Applicant: 新浪潮研究公司
CPC classification number: B23K2103/36 , B23K2103/50
Abstract: 本发明公开了一种用于对蓝宝石衬底划线的方法和系统，该方法通过如下步骤实现：在诸如包括真空吸气装置的X/Y平台的平台上安装载有集成器件芯片阵列的蓝宝石衬底；以及，使用固态激光器将激光能量UV脉冲引至蓝宝石衬底的表面。该脉冲具有低于560纳米的波长，优选地在150与560纳米之间。另外，能量密度、光斑尺寸、重复频率和脉冲持续时间设置为足以导致对蓝宝石的切割的水平。对该系统的控制，如移动具有对应该脉冲的固定的光束路线的该平台，使该脉冲在使连续脉冲的重叠足以在一蓝宝石衬底内切割出划线的移动速率下、按一划线图案作用于该蓝宝石衬底。
-
公开(公告)号：CN1501475A
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN03142382.5
申请日：2003-06-10
Applicant: 新浪潮研究公司
CPC classification number: B23K2103/36 , B23K2103/50
Abstract: 本发明公开了一种用于对蓝宝石衬底划线的方法和系统，该方法通过如下步骤实现；在诸如包括真空吸气装置的X/Y平台的平台上安装载有集成器件芯片阵列的蓝宝石衬底；以及，使用固态激光器将激光能量UV脉冲引至蓝宝石衬底的表面。该脉冲具有低于约560纳米的波长，优选地在约150与560纳米之间。另外，能量密度、光斑尺寸、重复频率和脉冲持续时间设置为足以导致对蓝宝石的切割的水平。对该系统的控制，如移动具有对应该脉冲的固定的光束路线的该平台，使该脉冲在使连续脉冲的重叠足以在一蓝宝石衬底内切割出划线的移动速率下、按一划线图案作用于该蓝宝石衬底。
-
公开(公告)号：CN1978167A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200610159293.3
申请日：2003-06-10
Applicant: 新浪潮研究公司
CPC classification number: B23K2103/36 , B23K2103/50
Abstract: 本发明公开了一种用于对蓝宝石衬底划线的方法和系统，该方法通过如下步骤实现：在诸如包括真空吸气装置的X/Y平台的平台上安装载有集成器件芯片阵列的蓝宝石衬底；以及，使用固态激光器将激光能量UV脉冲引至蓝宝石衬底的表面。该脉冲具有低于560纳米的波长，优选地在150与560纳米之间。另外，能量密度、光斑尺寸、重复频率和脉冲持续时间设置为足以导致对蓝宝石的切割的水平。对该系统的控制，如移动具有对应该脉冲的固定的光束路线的该平台，使该脉冲在使连续脉冲的重叠足以在一蓝宝石衬底内切割出划线的移动速率下、按一划线图案作用于该蓝宝石衬底。
-
公开(公告)号：CN1287442C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN03142382.5
申请日：2003-06-10
Applicant: 新浪潮研究公司
CPC classification number: B23K2103/36 , B23K2103/50
Abstract: 本发明公开了一种用于对蓝宝石衬底划线的方法和系统，该方法通过如下步骤实现：在诸如包括真空吸气装置的X/Y平台的平台上安装载有集成器件芯片阵列的蓝宝石衬底；以及，使用固态激光器将激光能量UV脉冲引至蓝宝石衬底的表面。该脉冲具有低于560纳米的波长，优选地在150与560纳米之间。另外，能量密度、光斑尺寸、重复频率和脉冲持续时间设置为足以导致对蓝宝石的切割的水平。对该系统的控制，如移动具有对应该脉冲的固定的光束路线的该平台，使该脉冲在使连续脉冲的重叠足以在一蓝宝石衬底内切割出划线的移动速率下、按一划线图案作用于该蓝宝石衬底。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.028 seconds)
