公开(公告)号：CN113284837A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202110123746.1

申请日：2021-01-29

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 栗林明宏 ,  西川里驱

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

Abstract: 本公开提供一种基板固定装置，该基板固定装置包括：静电吸盘，其构造为在静电吸盘上吸附并且保持对象，并且静电吸盘包括基体和静电电极，对象安装在该基体上，并且静电电极设置在基体中；以及底板，静电吸盘安装在底板上，并且底板具有多个通孔，该多个通孔中的每一个使基体的面向底板的第一面露出。从通孔中的每一个朝向基体发射激光。

公开(公告)号：CN118588586A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410234966.5

申请日：2024-03-01

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 春原昌宏 ,  西川里驱 ,  高木骏 ,  安藤樱

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及一种基板固定装置，该基板固定装置包括底板、设置在该底板上的发热部、设置在该发热部上的金属层、以及设置在该金属层上的静电吸盘。在基板固定装置中，金属层由与底板相同的材料制成。