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公开(公告)号：CN118588586A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410234966.5
申请日：2024-03-01
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种基板固定装置，该基板固定装置包括底板、设置在该底板上的发热部、设置在该发热部上的金属层、以及设置在该金属层上的静电吸盘。在基板固定装置中，金属层由与底板相同的材料制成。
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