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公开(公告)号：CN100336137C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN02808907.3
申请日：2002-12-26
申请人： 捷时雅株式会社
摘要： 用于形成光敏电介体的组合物、以及由所述组合物形成的电介体和电子元件，所述电介体包含无机颗粒、能在碱中显影的树脂和添加剂，其中，所述添加剂包含(C1)具有醌二叠氮基的化合物，(C2)具有至少两个氨基的化合物，所述化合物进行改性而具有烷基醚部分，和(C3)热敏酸产生剂；或者其中，所述组合物包含(A-I)平均粒径小于0.05微米的超细无机粉末和(A-Ⅱ)平均粒径为0.05微米或以上的细无机粉末。上述组合物可以形成具有良好空间精确性的电介体层，所述电介体层可以降低热损失、能在低温下焙烧并具有高介电常数。
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公开(公告)号：CN100472330C
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN02808727.5
申请日：2002-11-15
申请人： 捷时雅株式会社
CPC分类号： G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/095 , G03F7/40
摘要： 本发明涉及用于形成图案层的顶离方法，所述层通过沉积和/或溅射形成。本发明提供了双层抗蚀剂以及使用该抗蚀剂的形成图案的方法。这种形成图案的方法容易在基材上形成无毛刺的层。该方法包括下列步骤：顺序施涂辐射敏感的树脂组合物1和2，形成双层层叠物；使所述双层层叠物进行一次曝光和显影，形成具有底切横截面的细的图案；使用抗蚀剂图案作为掩膜，沉积和/或溅射有机或无机薄层；和顶离所述抗蚀剂图案，留下需要形状的薄层的图案。
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公开(公告)号：CN1864099A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN03800281.7
申请日：2003-01-15
申请人： 捷时雅株式会社
IPC分类号： G03F7/022 , G03F7/004 , H01L21/027
摘要： 本发明正型感光性绝缘树脂组合物至少包括(A)含酚羟基的碱溶性树脂、(B)含醌二叠氮基的化合物、(C)交联细颗粒、(D)每分子至少含有两个烷基醚化的基氨基的化合物、(F)溶剂。所述正型感光性绝缘树脂组合物有极好的分辨率、电绝缘性能以及热骤变性能。本发明固化产物通过固化所述正型感光性绝缘树脂组合物而得，所述固化产物有良好的粘合性。
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公开(公告)号：CN101231465A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810005175.6
申请日：2002-11-15
申请人： 捷时雅株式会社
CPC分类号： G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/095 , G03F7/40
摘要： 本发明涉及用于形成图案层的顶离方法，所述层通过沉积和/或溅射形成。本发明提供了双层抗蚀剂以及使用该抗蚀剂的形成图案的方法。这种形成图案的方法容易在基材上形成无毛刺的层。该方法包括下列步骤：顺序施涂辐射敏感的树脂组合物1和2，形成双层层叠物；使所述双层层叠物进行一次曝光和显影，形成具有底切横截面的细的图案；使用抗蚀剂图案作为掩膜，沉积和/或溅射有机或无机薄层；和顶离所述抗蚀剂图案，留下需要形状的薄层的图案。
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公开(公告)号：CN1505820A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN02808907.3
申请日：2002-12-26
申请人： 捷时雅株式会社
CPC分类号： G03F7/0226 , G03F7/0047 , G03F7/022 , G03F7/027 , G03F7/033
摘要： 用于形成光敏电介体的组合物、以及由所述组合物形成的电介体和电子元件，所述电介体包含无机颗粒、能在碱中显影的树脂和添加剂，其中，所述添加剂包含(C1)具有醌二叠氮基的化合物，(C2)具有至少两个氨基的化合物，所述化合物进行改性而具有烷基醚部分，和(C3)热敏酸产生剂；或者其中，所述组合物包含(A－I)平均粒径小于0.05微米的超细无机粉末和(A－II)平均粒径为0.05微米或以上的细无机粉末。上述组合物可以形成具有良好空间精确性的电介体层，所述电介体层可以降低热损失、能在低温下焙烧并具有高介电常数。
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公开(公告)号：CN1503930A
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN02808727.5
申请日：2002-11-15
申请人： 捷时雅株式会社
CPC分类号： G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/095 , G03F7/40
摘要： 本发明涉及用于形成图案层的顶离方法，所述层通过沉积和/或溅射形成。本发明提供了双层抗蚀剂以及使用该抗蚀剂的形成图案的方法。这种形成图案的方法容易在基材上形成无毛刺的层。该方法包括下列步骤：顺序施涂辐射敏感的树脂组合物1和2，形成双层层叠物；使所述双层层叠物进行一次曝光和显影，形成具有底切横截面的细的图案；使用抗蚀剂图案作为掩膜，沉积和/或溅射有机或无机薄层；和顶离所述抗蚀剂图案，留下需要形状的薄层的图案。
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公开(公告)号：CN1864099B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN03800281.7
申请日：2003-01-15
申请人： 捷时雅株式会社
IPC分类号： G03F7/022 , G03F7/004 , H01L21/027
摘要： 本发明正型感光性绝缘树脂组合物至少包括(A)含酚羟基的碱溶性树脂、(B)含醌二叠氮基的化合物、(C)交联细颗粒、(D)每分子至少含有两个烷基醚化的基氨基的化合物、(F)溶剂。所述正型感光性绝缘树脂组合物有极好的分辨率、电绝缘性能以及热骤变性能。本发明固化产物通过固化所述正型感光性绝缘树脂组合物而得，所述固化产物有良好的粘合性。
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公开(公告)号：CN101048703A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200580037184.8
申请日：2005-10-28
申请人： 捷时雅株式会社
IPC分类号： G03F7/023 , C08G8/38 , C08F212/08 , G03F7/004 , C08F212/14 , H01L21/027
摘要： 正型感光性绝缘树脂组合物及其固化物，其特征在于，包含(A)含有10～99摩尔％(A1)下述通式(1)表示的结构单元和90～1摩尔％(A2)下述通式(2)表示的结构单元的共聚物，(B)具有醌二叠氮基的化合物，(C)选自(C1)含有羟甲基及/或烷氧基甲基的芳香族化合物(含氨基的芳香族化合物除外)、(C2)芳香族醛化合物、(C3)脂肪族醛化合物、(C4)含有被烷基醚化的氨基的化合物及(C5)含环氧基的化合物的至少1种化合物，(D)溶剂及(E)粘合助剂；上式中的Ra和Rc表示碳数1～4的烷基、烷氧基或芳基，Rb和Rd表示氢原子或甲基，n表示0～3的整数，m表示1～3的整数。上述固化物的分辨率、电绝缘性、热冲击性和粘合性等各特性良好。
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