公开(公告)号：CN119153525A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411346588.6

申请日：2024-09-26

Applicant: 扬州大学

Inventor： 徐峰 ,  谢菲

IPC: H01L29/78 ,  H01L23/58 ,  H01L29/06 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种源极沟槽侧壁集成SBD的SiC MOSFET及制备方法，该制备方法包括在外延层表面形成N埋层和对称的P屏蔽层，继续生长外延层，并在外延层上表面依次生成CSL层、Pwell区和N+区；刻蚀形成源极沟槽和栅极沟槽，其中栅极沟槽位于中心位置，形成对称的Pwell区和对称的N+区，源极沟槽位于外延层两侧；在栅极沟槽底部和侧壁进行氧化物沉积和多晶硅沉积，形成屏蔽栅和栅极；在源极沟槽沉积金属，使金属与N+区、Pwell区和P屏蔽区域形成欧姆接触，同时与CSL层形成肖特基接触。本发明通过在源极沟槽侧壁集成SBD，使肖特基金属与源极相连，可提高器件的反向导通能力，同时也降低了续流损耗和反向恢复损耗，进而有效避免了体二极管开启产生的双极退化效应。

公开(公告)号：CN115169673A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202210765657.1

申请日：2022-07-01

Applicant: 扬州大学

Inventor： 欧吉顺 ,  聂庆慧 ,  相铮 ,  龙秀江 ,  张俊 ,  刘路 ,  陈楹颖 ,  苏光磊 ,  徐佳兴 ,  谢菲 ,  林长硕 ,  黄韵玲

IPC: G06Q10/04 ,  G06Q10/06 ,  G06Q50/20 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08 ,  G06V10/762 ,  G06V10/764 ,  G06V10/82 ,  G06V20/40 ,  G06V20/52 ,  G06V40/16 ,  G06V40/20

Abstract: 本发明公开了一种智慧校园疫情风险监测与预警系统和方法，系统：包括图像数据采集处理模块，身份辨别模块、目标检测模块、轨迹辨识模块和疫情风险检测模块，图像数据采集处理模块用于对校园人群流动情况进行采集，根据流动数据进行预处理，包括数据增强、数据标注和数据集划分等预处理，身份辨别模块用于基于行人人脸识别与行人姿态识别辨识目标身份信息，目标检测模块用于对图像数据进行行人目标状态检测，轨迹辨识模块用于对行人的行动范围和行动模式进行检测，疫情风险检测模块用于辨别校园流量，对校园人群流动情况进行研判和预警。本发明能够提供校园内出行人员的精细化轨迹信息，辅以校园疫情流调数据，实现校园疫情精准防控。