LED外延生长装置
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202415739U

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201120464155.2

    申请日:2011-11-21

    IPC分类号: C30B25/16 C30B25/14 C30B25/12

    摘要: LED外延生长装置,属于外延生长设备技术领域,炉筒的上、下两端分别连接炉盖和炉底,在炉盖上分别设氮气进气口、混合气体接入通道和若干氢气进气通道;在炉盖和环形石墨护罩之间夹持环形均温组件,于环形石墨护罩内,在环形均温组件下端布置冷却装置;在环形均温组件上开设氢气引入通道,氢气引入通道的上端与炉盖上的氢气进气通道连接,氢气引入通道的下端布置在小石墨基盘的上方;在炉筒内的炉底上设置排气口。本实用新型可控制反应室与炉盖之间的温度,当反应室内的温度与炉盖的温度差较小时,在冷却装置表面就不容易生长颗粒。可省去更换冷却装置的工作量,节省时间,提高外延生产效率和外延产品的质量。