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公开(公告)号：CN105371756B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510866748.4
申请日：2015-12-01
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m‑1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371753B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510846645.1
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371755A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510847922.0
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371754A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510846708.3
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m-1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371753A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510846645.1
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104930968A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510369129.4
申请日：2015-06-29
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
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公开(公告)号：CN104880147A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510374210.1
申请日：2015-06-29
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述磁性微位移平台式角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动角反射镜设置在所述磁性微位移平台上，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动角反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。
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公开(公告)号：CN105509636B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201510848301.4
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中，采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371755B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201510847922.0
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105509636A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510848301.4
申请日：2015-11-27
Applicant: 成都信息工程大学
CPC classification number: G01B9/02018 , G01B9/02075 , G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中，采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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