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公开(公告)号：CN105333817A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510847923.5
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
CPC分类号： G01B9/02062 , G01B11/02
摘要： 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及其测量方法，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在测量过程中对激光波长进行修正，减小环境变化对激光干涉测距的影响，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN105333817B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201510847923.5
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
摘要： 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及其测量方法，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在测量过程中对激光波长进行修正，减小环境变化对激光干涉测距的影响，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN105300275B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201510844921.0
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
摘要： 本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及其测量方法，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371753B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510846645.1
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105371753A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510846645.1
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN105300275A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510844921.0
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
摘要： 本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及其测量方法，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN205619875U
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201520966075.5
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本实用新型公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN205209430U
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201520963648.9
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本实用新型公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置，激光源包括n,个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器，同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，显著提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN205120038U
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201520963567.9
申请日：2015-11-27
申请人： 成都信息工程大学
摘要： 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在测量过程中对激光波长进行修正，减小环境变化对激光干涉测距的影响，进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。
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