公开(公告)号：CN105371756B

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201510866748.4

申请日：2015-12-01

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m‑1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。

公开(公告)号：CN105371756A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510866748.4

申请日：2015-12-01

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪及波长修正方法，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m-1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。

公开(公告)号：CN105277118B

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201510852540.7

申请日：2015-11-27

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜，所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在激光波长修正过程中，精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

公开(公告)号：CN105277118A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510852540.7

申请日：2015-11-27

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜，所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在激光波长修正过程中，精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

公开(公告)号：CN205373628U

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201520981863.1

申请日：2015-12-01

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本实用新型公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m?1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时采用波长修正方法获得环境等效波长，显著提高了测量精度。

公开(公告)号：CN205138419U

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201520967106.9

申请日：2015-11-27

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜，所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在激光波长修正过程中，精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。