一种有轨台车系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN115042824A

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202210630700.3

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明公开了一种有轨台车系统,包括沿行驶路径设置的轨道和在所述轨道上沿所述行驶路径行驶的台车,所述行驶路径包括主路径和若干个支路径,所述支路径的一端与所述主路径连通,所述主路径和支路径的连接处设置有引导轨道;本发明通过设置悬在轨道连接处上方的引导轨道及在进入引导轨道前根据行驶路线向引导轨道两侧变换位置的引导轮,能够通过简单的结构实现变轨,解决了现有技术在行驶过程中变轨导致的台车不稳的情况;根据主路径和支路径上已有台车的运动路径判断该台车的行驶路径,避免轨道运动和台车相撞的情况,整体工作流程更为流畅,工作效率更高。

    一种有轨台车系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN115042824B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202210630700.3

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明公开了一种有轨台车系统,包括沿行驶路径设置的轨道和在所述轨道上沿所述行驶路径行驶的台车,所述行驶路径包括主路径和若干个支路径,所述支路径的一端与所述主路径连通,所述主路径和支路径的连接处设置有引导轨道;本发明通过设置悬在轨道连接处上方的引导轨道及在进入引导轨道前根据行驶路线向引导轨道两侧变换位置的引导轮,能够通过简单的结构实现变轨,解决了现有技术在行驶过程中变轨导致的台车不稳的情况;根据主路径和支路径上已有台车的运动路径判断该台车的行驶路径,避免轨道运动和台车相撞的情况,整体工作流程更为流畅,工作效率更高。

    一种晶圆自动搬运天车
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114104635B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202111620293.X

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种晶圆自动搬运天车,包含框架、移动驱动机构和多级抓取机构;框架包含顶部平台、前竖框和后竖框,前竖框和后竖框分别位于顶部平台下侧的前后两端;移动驱动机构设置在顶部平台的上侧,用于带动框架沿轨道行走;多级抓取机构设置在顶部平台的下侧,并位于前竖框与后竖框之间,多级抓取机构用于伸缩和升降抓取下方物体;本方案优化了整体的框架结构,使天车整体更加平衡,并且优化了天车的移动驱动机构,在提高天车运行稳定性的同时,可以适当提高天车的运行速度,提高晶圆搬运效率;并设计了天线伸缩防坠机构,使天线在平时收在框架内部,避免在搬运的时候与物体干涉,造成设备及原料损坏,降低了成本和安全风险。

    一种吹扫立库、立库清洁系统及其清洁方法

    公开(公告)号:CN116765070B

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311045890.3

    申请日:2023-08-18

    Abstract: 本发明提供一种吹扫立库、立库清洁系统及其清洁方法,包括:外库,外库内部设有第一吹扫空间,外库顶部连至少一个接顶部风机;立库本体,立库本体位于第一吹扫空间内,其内部设有第二吹扫空间,第二吹扫空间与外界连通,立库本体的侧壁上连接有多个侧部风机,气体由第一吹扫空间进入第二吹扫空间。本立库清洁系统,通过顶部风机提供纵向吹扫气体,通过侧部风机提供横向吹扫气体,二者结合能够实现从不同方向对物料的全方位清洁,经检测,第二吹扫空间能够稳定保持Class1级的洁净度的要求。本发明的立库清洁系统及其清洁方法,能够将第二吹扫空间的气体通过高架地板排出,实现了吹扫气体的循环,杜绝涡流的产生的同时,也避免了产品遭受二次污染。

    一种吹扫立库、立库清洁系统及其清洁方法

    公开(公告)号:CN116765070A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202311045890.3

    申请日:2023-08-18

    Abstract: 本发明提供一种吹扫立库,包括:外库,外库内部设有第一吹扫空间,外库顶部连至少一个接顶部风机;立库本体,立库本体位于第一吹扫空间内,其内部设有第二吹扫空间,第二吹扫空间与外界连通,立库本体的侧壁上连接有多个侧部风机,气体由第一吹扫空间进入第二吹扫空间。本吹扫立库,通过顶部风机提供纵向吹扫气体,通过侧部风机提供横向吹扫气体,二者结合能够实现从不同方向对物料的全方位清洁,经检测,第二吹扫空间能够稳定保持Class1级的洁净度的要求。本发明还提供一种立库清洁系统及其清洁方法,能够将第二吹扫空间的气体通过高架地板排出,实现了吹扫气体的循环,杜绝涡流的产生的同时,也避免了产品遭受二次污染。

    一种晶圆自动搬运天车
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114104635A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111620293.X

    申请日:2021-12-28

    Abstract: 本发明公开了一种晶圆自动搬运天车,包含框架、移动驱动机构和多级抓取机构;框架包含顶部平台、前竖框和后竖框,前竖框和后竖框分别位于顶部平台下侧的前后两端;移动驱动机构设置在顶部平台的上侧,用于带动框架沿轨道行走;多级抓取机构设置在顶部平台的下侧,并位于前竖框与后竖框之间,多级抓取机构用于伸缩和升降抓取下方物体;本方案优化了整体的框架结构,使天车整体更加平衡,并且优化了天车的移动驱动机构,在提高天车运行稳定性的同时,可以适当提高天车的运行速度,提高晶圆搬运效率;并设计了天线伸缩防坠机构,使天线在平时收在框架内部,避免在搬运的时候与物体干涉,造成设备及原料损坏,降低了成本和安全风险。

    一种桥式行车装置及其移载装置

    公开(公告)号:CN217458514U

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202221220028.2

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本实用新型涉及一种桥式行车装置及其移载装置,用于连接桥式行驶车及取料装置并带动所述取料装置运动,包括:驱动机构和至少两个层层堆叠的第一移载机构,相邻两个所述第一移载机构之间滑动连接;所述驱动机构用于控制所述第一移载机构的移动位置。本实用新型通过设计第一移载机构的使其连接结构更为稳定,自动化程度高,且移动过程更为流畅;通过驱动机构能够随时根据需求对其定位,无需限制部对其进行辅助定位,结构更为简单且精确度更高,满足定位需求。

    一种天车防坠落连杆机构

    公开(公告)号:CN219489407U

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202223534939.5

    申请日:2022-12-29

    Abstract: 本实用新型涉及一种天车防坠落连杆机构,包含底板、驱动电机、第一摆杆、第二摆杆、第一连杆、第二连杆和滚轮支架,第一摆杆具有转动连接部位、第一铰接部位和第二铰接部位;驱动电机与第一摆杆配合;第二摆杆的一端转动设置在底板上,另一端与第一连杆铰接,第一连杆铰接在第一摆杆上;第二连杆与第一摆杆上和第二摆杆铰接;滚轮支架上设置有限位滚轮;本方案简化了结构,使天线在伸出的同时,可以将滚轮支架与限位滚轮一同伸出,卡住载具实现限位作用,防止载具在运输过程中晃动;纯连杆机构简化了天线和防坠结构,有利于天车的轻量化,并使天车的天线和防坠机构伸缩联动更加稳定,提高设备安全性。

    一种用于天车的搬运抓取驱动机构

    公开(公告)号:CN219488845U

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202223534998.2

    申请日:2022-12-29

    Abstract: 本实用新型涉及一种用于天车的搬运抓取驱动机构,包含驱动电机、传动丝杆、丝杆螺母连接板、前移滑轨和两组手爪组件;驱动电机通过传动丝杆带动丝杆螺母连接板沿前移滑轨前后移动;手爪组件包含曲臂、滑座和横移滑轨,横移滑轨与前移滑轨互相垂直;曲臂上设置有斜向滑槽,滑座上设置有滚子,滚子与斜向滑槽配合,曲臂通过斜向滑槽和滚子带动滑座沿横移滑轨横向滑动,滑座上设置有爪板;本方案通过设置与爪板移动方向垂直的电机丝杆组件,并配合由曲臂、滚子和滑座组成的凸轮随动结构,可以带动两侧的爪板同步动作,来准确稳定地抓取或放开产品,避免了爪板动作不一致导致的隐患,并且有利于整体的结构布局,提高机构的紧凑性。

    一种OHT防侧倾及转向机构
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219488685U

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202223432932.2

    申请日:2022-12-21

    Abstract: 本实用新型涉及一种OHT防侧倾及转向机构,包含天车前端支架、天车转向组件和天车防侧倾组件;天车转向组件包含电磁铁、摆臂、直线滑轨和直线滑座;电磁铁带动摆臂摆动,摆臂上设置有导向槽;直线滑座与直线滑轨滑动配合,直线滑座上设置有导向轮和随动滚子,随动滚子与摆臂上的导向槽配合;天车防侧倾组件包含驱动电机、转板、连杆和支脚;驱动电机带动转板转动,连杆的一端铰接在转板上,另一端铰接在支脚的中部,支脚的一端铰接在天车前端支架上,另一端为支撑端;本方案可以带动直线滑座在直线滑轨上改变位置,实现OHT设备在轨道上转向;并通过驱动电机使支脚可以伸出或缩回,防止OHT设备单侧受力时出现侧倾的情况。

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