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公开(公告)号：CN107720688A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710775777.9
申请日：2013-06-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法。一种微机电设备。包括：主体(4)，容纳微机电结构(8、10)；以及帽(5)，通过导电键合区域(7)键合至主体(4)并且电耦合至微机电结构(8,10)；其中帽(5)包括选择模块(13)，选择模块(13)具有耦合至微机电结构(8、10)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少一个控制端子(13c)，并且可以通过控制端子(13c)控制，以选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一、将第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。
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公开(公告)号：CN112583372A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011052268.1
申请日：2020-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及压电微机电谐振器设备以及对应的制造过程。微机电谐振器设备具有：主体，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和第二表面，并且由第一层和第二层制成，第二层被布置在第一层上；盖，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和相应第二表面，并通过键合元件被耦合到主体；以及由移动元件、压电材料区域和顶部电极形成的压电谐振器结构，移动元件由第一层的谐振器部分构成、相对于第二层中提供的内部腔以悬臂方式悬置并且相对于盖中提供的壳体腔在相对侧悬置；压电材料区域被布置在主体的第一表面上的移动元件上；并且顶部电极被布置在压电材料区域上，移动元件构成压电谐振器结构的底部电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107720688B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201710775777.9
申请日：2013-06-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法。一种微机电设备。包括：主体(4)，容纳微机电结构(8、10)；以及帽(5)，通过导电键合区域(7)键合至主体(4)并且电耦合至微机电结构(8,10)；其中帽(5)包括选择模块(13)，选择模块(13)具有耦合至微机电结构(8、10)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少一个控制端子(13c)，并且可以通过控制端子(13c)控制，以选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一、将第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。
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公开(公告)号：CN103513059B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201310259186.8
申请日：2013-06-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B7/0074 , B81B7/007 , B81B7/008 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , B81B2207/015 , B81B2207/07 , B81B2207/092 , B81B2207/093 , B81B2207/096 , B81B2207/097 , B81C1/0023 , B81C2203/0118 , B81C2203/0792 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种微机电设备包括：主体(4)，容纳微机电结构(8、10)；以及帽(5)，通过导电键合区域(7)键合至主体(4)并且电耦合至微机电结构(8，10)；其中帽(5)包括选择模块(13)，选择模块(13)具有耦合至微机电结构(8、10)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少一个控制端子(13c)，并且可以通过控制端子(13c)控制，以选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一、将第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。
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公开(公告)号：CN103513059A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310259186.8
申请日：2013-06-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/18 , G01C19/00 , G01P15/14 , B81B7/02 , G05B19/042
CPC classification number: B81B7/0074 , B81B7/007 , B81B7/008 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , B81B2207/015 , B81B2207/07 , B81B2207/092 , B81B2207/093 , B81B2207/096 , B81B2207/097 , B81C1/0023 , B81C2203/0118 , B81C2203/0792 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种微机电设备包括：主体(4)，容纳微机电结构(8、10)；以及帽(5)，通过导电键合区域(7)键合至主体(4)并且电耦合至微机电结构(8，10)；其中帽(5)包括选择模块(13)，选择模块(13)具有耦合至微机电结构(8、10)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少一个控制端子(13c)，并且可以通过控制端子(13c)控制，以选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一、将第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。
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公开(公告)号：CN213602620U
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202022198948.6
申请日：2020-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H03H9/24
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电系统谐振器设备和谐振器结构。微机电谐振器设备具有：主体，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和第二表面，并且由第一层和第二层制成，第二层被布置在第一层上；盖，具有沿竖直轴彼此相对的第一表面和相应第二表面，并通过键合元件被耦合到主体；以及由移动元件、压电材料区域和顶部电极形成的压电谐振器结构，移动元件由第一层的谐振器部分构成、相对于第二层中提供的内部腔以悬臂方式悬置并且相对于盖中提供的壳体腔在相对侧悬置；压电材料区域被布置在主体的第一表面上的移动元件上；并且顶部电极被布置在压电材料区域上，移动元件构成压电谐振器结构的底部电极。根据本公开，提供了改进的谐振器。
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公开(公告)号：CN203582456U
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201320369526.8
申请日：2013-06-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B7/0074 , B81B7/007 , B81B7/008 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2207/012 , B81B2207/015 , B81B2207/07 , B81B2207/092 , B81B2207/093 , B81B2207/096 , B81B2207/097 , B81C1/0023 , B81C2203/0118 , B81C2203/0792 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本实用新型的实施例涉及一种微机电设备和电子系统，微机电设备包括：主体，容纳微机电结构；帽，通过导电键合区域键合至所述主体并且电耦合至所述微机电结构；其中所述帽包括选择模块，所述选择模块具有连接至所述微机电结构的第一选择端子、第二选择端子和至少控制端子，并且所述选择模块选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一，通过所述控制端子可控制地将所述第二选择端子耦合至相应第一选择端子。
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