公开(公告)号：CN105682769A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201380080616.8

申请日：2013-10-30

Applicant: 惠普发展公司 ,  有限责任合伙企业

Inventor： 罗格·A·麦凯 ,  帕特里克·W·萨迪克

IPC: B01D39/14 ,  B01D67/00 ,  B01D69/02

CPC classification number: B01D29/0093 ,  B01D35/02 ,  B01D67/0032 ,  B01D67/0062 ,  B01D69/02 ,  B01D2325/021 ,  B81B7/0061 ,  B81C1/00071 ,  B81C1/00119 ,  B81C1/00539 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/0135 ,  B81C2201/014 ,  C23C14/5873 ,  C23C18/1603 ,  C23F1/00 ,  C23F1/02

Abstract: 一种方法包括：在衬底上形成蚀刻岛，并将具有蚀刻岛的衬底暴露至与蚀刻岛反应的溶液，以在衬底中形成互连孔隙的过滤通道。过滤通道具有进入衬底的入口和离开衬底的出口。

公开(公告)号：CN105682780B

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201380080641.6

申请日：2013-10-30

Applicant: 惠普发展公司 ,  有限责任合伙企业

Inventor： 罗格·A·麦凯 ,  帕特里克·W·萨迪克

IPC: B01D69/00

CPC classification number: B81C1/00539 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/014 ,  C23C14/5873 ,  C23F1/02 ,  C23F1/16 ,  H01M4/0492 ,  H01M4/386

Abstract: 蚀刻岛被形成在衬底的第一面和衬底的与第一面不平行的第二面上。衬底的第一面和第二面同时暴露至与蚀刻岛反应的溶液，以同时形成延伸到第一面和第二面内的多孔区域。

公开(公告)号：CN105682780A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201380080641.6

申请日：2013-10-30

Applicant: 惠普发展公司 ,  有限责任合伙企业

Inventor： 罗格·A·麦凯 ,  帕特里克·W·萨迪克

IPC: B01D69/00

CPC classification number: B81C1/00539 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/014 ,  C23C14/5873 ,  C23F1/02 ,  C23F1/16 ,  H01M4/0492 ,  H01M4/386

Abstract: 蚀刻岛被形成在衬底的第一面和衬底的与第一面不平行的第二面上。衬底的第一面和第二面同时暴露至与蚀刻岛反应的溶液，以同时形成延伸到第一面和第二面内的多孔区域。