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公开(公告)号：CN103889537B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280048849.5
申请日：2012-10-03
申请人： 恩特格里斯公司
发明人： 约翰·P·普利亚 , 路易斯·小巴罗斯 , 克里斯托弗·约翰·洛 , 本迈白·李 , 马克·拉凡迪尔
IPC分类号： B01D29/07
CPC分类号： B01D35/12 , B01D29/07 , B01D35/303 , B01D46/521 , B01D2201/12
摘要： 本发明涉及用于过滤液体的模块化过滤卡匣，例如，所述液体包含用于半导体制造中的液体。过滤器壳体可界定滤腔，其包括上游部分及下游部分。所述过滤器可进一步包括设置于所述滤腔中的过滤元件。所述过滤元件可至少部分覆盖所述过滤元件的第一侧上的过滤器入口。所述过滤元件可包括矩形褶皱过滤器，其具有一组褶皱，所述组褶皱具有位于所述过滤元件的上游侧上的第一组褶皱尖端及位于所述褶皱过滤器的下游侧上的第二组褶皱尖端。
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公开(公告)号：CN104822438A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062355.7
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
发明人： 马克·拉凡迪尔 , 桑原宽一 , 藏田幸一 , 约翰·P·普利亚 , 本迈白·李 , 路易斯·巴罗斯 , 卡扬·玛达法兰 , 狄米崔·门 , J·卡尔·奈尔梅尔 , 克雷格·华勒斯·马特兰德
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及使用用于净化包含例如用于半导体制造的液体的可移除式净化器匣的模块化净化系统。净化系统可包含可移除式净化器匣，其具有净化器入口端口及净化器出口端口；及歧管组合件。所述歧管组合件可包含多个连接系统以提供歧管端口以提供流体往返于所述匣。在一些实施例中，所述连接系统可使用连接螺母，其可在旋转小于360度的情况下提供360度螺纹接合。
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公开(公告)号：CN104822439A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062389.6
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
IPC分类号： B01D63/14 , B01D65/00 , F16L19/00 , F16L19/02 , B01D29/07 , B01D35/30 , B25B17/02 , F16L19/025 , B01D29/52
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及具有加强特征的净化匣。一个实施例涉及一种具有张力部件的净化匣。净化系统可包含界定介质腔的可移除式匣。一组张力部件可跨越在第一侧壁与第二侧壁之间。所述组张力部件可将所述介质腔分为多个腔道。
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公开(公告)号：CN103889537A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280048849.5
申请日：2012-10-03
申请人： 恩特格里斯公司
发明人： 约翰·P·普利亚 , 路易斯·小巴罗斯 , 克里斯托弗·约翰·洛 , 本迈白·李 , 马克·拉凡迪尔
IPC分类号： B01D29/07
CPC分类号： B01D35/12 , B01D29/07 , B01D35/303 , B01D46/521 , B01D2201/12
摘要： 本发明涉及用于过滤液体的模块化过滤卡匣，例如，所述液体包含用于半导体制造中的液体。过滤器壳体可界定滤腔，其包括上游部分及下游部分。所述过滤器可进一步包括设置于所述滤腔中的过滤元件。所述过滤元件可至少部分覆盖所述过滤元件的第一侧上的过滤器入口。所述过滤元件可包括矩形褶皱过滤器，其具有一组褶皱，所述组褶皱具有位于所述过滤元件的上游侧上的第一组褶皱尖端及位于所述褶皱过滤器的下游侧上的第二组褶皱尖端。
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公开(公告)号：CN103857452A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280048928.6
申请日：2012-10-03
申请人： 恩特格里斯公司
发明人： 约翰·P·普利亚 , 路易斯·小巴罗斯 , 克里斯托弗·约翰·洛 , 本·迈白·李 , 马克·拉凡迪尔
IPC分类号： B01D29/07
CPC分类号： B01D35/12 , B01D29/07 , B01D35/303 , B01D46/521 , B01D2201/12
摘要： 本发明涉及一种模块化过滤系统，其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含：可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件。所述主组合件可进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口，且可界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动。所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。
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公开(公告)号：CN118785959A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202380017819.6
申请日：2023-01-17
申请人： 恩特格里斯公司
IPC分类号： B01D69/12 , B01D71/06 , B01D46/12 , B01D46/00 , C09J123/06 , C09J123/12 , C09J123/28 , C09J127/18
摘要： 描述缠绕‑褶式过滤器及制备及使用这些过滤器的方法。
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公开(公告)号：CN104822439B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380062389.6
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
IPC分类号： B01D63/14 , B01D65/00 , F16L19/00 , F16L19/02 , B01D29/07 , B01D35/30 , B25B17/02 , F16L19/025 , B01D29/52
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及具有加强特征的净化匣。一个实施例涉及一种具有张力部件的净化匣。净化系统可包含界定介质腔的可移除式匣。一组张力部件可跨越在第一侧壁与第二侧壁之间。所述组张力部件可将所述介质腔分为多个腔道。
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公开(公告)号：CN104822980A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062532.1
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及用于流体连接的连接系统。甚至更特定地说，一些实施例涉及搭配半导体制造流体使用的流体连接。所述连接系统使用连接螺母(110)，通过利用所述螺母(110)中的多头螺纹，连接螺母(110)旋转小于360度即可密封流体接头(112、114)。根据一个实施例，所述连接螺母在旋转小于360度的情况下产生至少360度螺纹啮合。实施例进一步提供可同时密封多个端口的连接系统。
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