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公开(公告)号：CN104822439B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380062389.6
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
IPC分类号： B01D63/14 , B01D65/00 , F16L19/00 , F16L19/02 , B01D29/07 , B01D35/30 , B25B17/02 , F16L19/025 , B01D29/52
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及具有加强特征的净化匣。一个实施例涉及一种具有张力部件的净化匣。净化系统可包含界定介质腔的可移除式匣。一组张力部件可跨越在第一侧壁与第二侧壁之间。所述组张力部件可将所述介质腔分为多个腔道。
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公开(公告)号：CN104822438A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062355.7
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
发明人： 马克·拉凡迪尔 , 桑原宽一 , 藏田幸一 , 约翰·P·普利亚 , 本迈白·李 , 路易斯·巴罗斯 , 卡扬·玛达法兰 , 狄米崔·门 , J·卡尔·奈尔梅尔 , 克雷格·华勒斯·马特兰德
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及使用用于净化包含例如用于半导体制造的液体的可移除式净化器匣的模块化净化系统。净化系统可包含可移除式净化器匣，其具有净化器入口端口及净化器出口端口；及歧管组合件。所述歧管组合件可包含多个连接系统以提供歧管端口以提供流体往返于所述匣。在一些实施例中，所述连接系统可使用连接螺母，其可在旋转小于360度的情况下提供360度螺纹接合。
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公开(公告)号：CN104822439A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062389.6
申请日：2013-09-30
申请人： 恩特格里斯公司
IPC分类号： B01D63/14 , B01D65/00 , F16L19/00 , F16L19/02 , B01D29/07 , B01D35/30 , B25B17/02 , F16L19/025 , B01D29/52
CPC分类号： B01D29/52 , B01D63/14 , B01D65/00 , B01D2313/105 , B01D2313/125 , B01D2313/13 , B01D2313/18 , B01D2313/20 , B01D2313/21 , B01D2313/54 , B01D2319/022 , B01D2319/04 , B25B17/02 , F16L19/005 , F16L19/0225 , F16L19/025 , Y10T29/49826
摘要： 本发明涉及具有加强特征的净化匣。一个实施例涉及一种具有张力部件的净化匣。净化系统可包含界定介质腔的可移除式匣。一组张力部件可跨越在第一侧壁与第二侧壁之间。所述组张力部件可将所述介质腔分为多个腔道。
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